高真空磁控溅射镀膜机温度控制系统的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·真空技术及磁控溅射镀膜技术的发展 | 第12-13页 |
| ·控制技术及智能控制的发展 | 第13-14页 |
| ·高真空磁控溅射镀膜机及其温度控制系统简介 | 第14-15页 |
| ·高真空磁控溅射型镀膜机简介 | 第14-15页 |
| ·高真空磁控溅射镀膜机温度控制系统 | 第15页 |
| ·课题目的及其意义 | 第15-16页 |
| 第二章 专家PID的理论基础 | 第16-30页 |
| ·常规PID控制原理及其局限 | 第16-20页 |
| ·PID控制原理 | 第16-17页 |
| ·PID参数的整定 | 第17-20页 |
| ·固定参数PID控制的缺点 | 第20页 |
| ·专家控制原理 | 第20-23页 |
| ·专家控制系统结构 | 第20-23页 |
| ·专家控制的模型 | 第23页 |
| ·专家PID控制及其在温度控制中的实现 | 第23-30页 |
| ·专家PID温度控制器原理 | 第23-25页 |
| ·专家PID在温度控制中的实现 | 第25-30页 |
| 第三章 基于专家PID控制的智能温控仪 | 第30-35页 |
| ·智能温控仪简介 | 第30-31页 |
| ·智能温控仪的工作原理 | 第31-34页 |
| ·智能温控仪的使用 | 第34-35页 |
| 第四章 镀膜机温度控制系统的设计与实现 | 第35-52页 |
| ·温控系统总体结构 | 第35页 |
| ·热电偶及其测温原理 | 第35-38页 |
| ·热电偶测温原理及种类 | 第35-37页 |
| ·热电偶冷端的温度补偿 | 第37-38页 |
| ·智能温控仪 | 第38页 |
| ·晶闸管及其应用 | 第38-44页 |
| ·单相晶闸管工作原理 | 第38-40页 |
| ·晶闸管的实际应用 | 第40-42页 |
| ·晶闸管在温控电源中的应用 | 第42-44页 |
| ·晶闸管调压电路及交流固态继电器工作原理 | 第44-48页 |
| ·晶闸管调压电路的组成及原理 | 第44-47页 |
| ·固态继电器的工作原理 | 第47-48页 |
| ·温控系统供电电源 | 第48-49页 |
| ·温控系统的实现 | 第49-52页 |
| ·晶闸管及其调压板在温控系统中的实现 | 第49-50页 |
| ·SSR在温控系统中的实现 | 第50-52页 |
| 第五章 温控系统的调试及试验结果分析 | 第52-56页 |
| 第六章 总结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 发表论文 | 第59页 |
