| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-12页 |
| ·微波单片集成电路的发展历程 | 第8页 |
| ·实时延迟线的工程应用 | 第8-10页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 GAAS MMIC 数控实时延迟线芯片电路的设计 | 第12-40页 |
| ·设计思路 | 第12页 |
| ·GAAS PHEMT 外延材料的设计与优化 | 第12-14页 |
| ·控制器件的设计、测试和建模 | 第14-20页 |
| ·GaAs PHEMT 器件的工作机理 | 第14-17页 |
| ·控制器件的在片测试 | 第17页 |
| ·控制器件的等效电路及建模 | 第17-20页 |
| ·无源元件的测试和建模 | 第20-23页 |
| ·薄膜电容 | 第21-22页 |
| ·薄膜电阻 | 第22-23页 |
| ·通孔 | 第23页 |
| ·电路拓扑结构的选择 | 第23-27页 |
| ·数控实时延迟线电路基本原理和设计理念 | 第23-27页 |
| ·MMIC 数控实时延迟线芯片电路的CAD 优化 | 第27-38页 |
| ·设计工具的选择 | 第27页 |
| ·电路设计 | 第27-29页 |
| ·电磁场验证 | 第29-38页 |
| ·单片数控实时延迟线版图布局的设计 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 GAAS MMIC 数控实时延迟线芯片电路的工艺实现 | 第40-44页 |
| ·主要工艺流程 | 第40-42页 |
| ·工艺过程监控 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 GAAS MMIC 数控实时延迟线芯片电路的在片测试研究 | 第44-49页 |
| ·测试系统介绍 | 第44-45页 |
| ·在片S 参数测试 | 第45-46页 |
| ·自动测试系统的研究 | 第46-47页 |
| ·在片测试结果的统计分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 GAAS MMIC 数控实时延迟线芯片的研制结果及分析 | 第49-55页 |
| ·研制结果与分析 | 第49-54页 |
| ·电路设计结果 | 第49-51页 |
| ·研制结果 | 第51-54页 |
| ·性能测试分析 | 第54页 |
| ·应用与前景 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-56页 |
| ·课题总结与展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第59-60页 |
| 附录 | 第60-63页 |
