| 第一章 绪论 | 第1-25页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·固体润滑剂的分类 | 第7-11页 |
| ·金属基润滑材料 | 第7-8页 |
| ·非金属基润滑材料 | 第8-10页 |
| ·陶瓷润滑材料 | 第10-11页 |
| ·纳米薄膜材料 | 第11-13页 |
| ·纳米材料 | 第11-12页 |
| ·纳米薄膜 | 第12-13页 |
| ·MoS_2的概述 | 第13-23页 |
| ·MoS_2的性质 | 第13-15页 |
| ·MoS_2的应用 | 第15-17页 |
| ·MoS_2沉积薄膜的应用研究进展 | 第17-23页 |
| ·本课题的立题依据和研究意义 | 第23-25页 |
| 第二章 磁控截射法制备 MoS_x/MoS_X-Mo薄膜 | 第25-33页 |
| ·磁控溅射制备方法 | 第25-28页 |
| ·溅射基本原理 | 第25-26页 |
| ·溅射基本特性 | 第26-27页 |
| ·溅射装置 | 第27-28页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第28-31页 |
| ·靶材的制备 | 第28-29页 |
| ·基片和衬底的清洗 | 第29-30页 |
| ·薄膜样品的溅射制备 | 第30-31页 |
| ·样品的测试分析 | 第31-32页 |
| ·样品的厚度测量 | 第31页 |
| ·样品的XRD测试 | 第31页 |
| ·薄膜的 SEM测试 | 第31页 |
| ·薄膜的AFM测试 | 第31-32页 |
| ·薄膜的EDS测试 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 MoS_X/MoS_X-Mo薄膜的显微结构分析 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·溅射薄膜的结构形貌和组成分析 | 第33-39页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第33-34页 |
| ·薄膜的表面 SEM和 AFM分析 | 第34-37页 |
| ·薄膜的截面 SEM分析 | 第37-38页 |
| ·薄膜的EDS分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 MoS_X/MoS_X-Mo薄膜的摩擦磨损性能 | 第41-52页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验方法和过程 | 第41页 |
| ·试验结果和讨论 | 第41-51页 |
| ·薄膜和基体的结合力 | 第41-42页 |
| ·复合靶MoS_X-Mo中Mo含量对薄膜的摩擦系数及磨损率的影响 | 第42-43页 |
| ·溅射气压对 MoS_X/MoS_X-Mo薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第43-45页 |
| ·接触应力对 MoS_X/MoS_X-Mo薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第45-46页 |
| ·滑动速度对 MoS_X/MoS_X-Mo薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第46-47页 |
| ·环境对 MoS_X/MoS_X-Mo薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 附录 | 第62页 |
