| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-29页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·地震勘探技术的研究背景 | 第10-11页 |
| ·传统地震检波器工作原理 | 第11-13页 |
| ·动圈式检波器 | 第11-12页 |
| ·涡流式检波器 | 第12-13页 |
| ·压电式检波器 | 第13页 |
| ·新型地震勘探技术的研究进展 | 第13-15页 |
| ·MOEMS技术 | 第15-20页 |
| ·MOEMS技术背景 | 第15-16页 |
| ·MOEMS 器件特点及应用 | 第16-19页 |
| ·微机电系统的工艺研究 | 第19-20页 |
| ·MEMS/MOEMS 加速度传感器分类和发展状况 | 第20-26页 |
| ·硅微加速度传感器的基本类型 | 第20-22页 |
| ·国外硅微加速度传感器发展现状 | 第22-26页 |
| ·国内地震检波器技术研究和MEMS 技术研究现状 | 第26页 |
| ·本文主要研究工作 | 第26-29页 |
| 第二章 光波导传感器的传感原理和相位检测研究 | 第29-45页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·光波导传感器分类 | 第30-32页 |
| ·光强度调制型 | 第30页 |
| ·相位调制型 | 第30-31页 |
| ·偏振态调制型 | 第31-32页 |
| ·波长调制型 | 第32页 |
| ·频率调制型 | 第32页 |
| ·相位调制型传感器 | 第32-36页 |
| ·干涉原理 | 第32-34页 |
| ·迈克尔逊(Michelson)干涉仪 | 第34-35页 |
| ·马赫-曾德(Mach-Zehnder)波导干涉仪 | 第35-36页 |
| ·法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪干涉仪 | 第36页 |
| ·相位调制型传感器传感原理 | 第36-40页 |
| ·应力应变效应 | 第36-39页 |
| ·温度应变效应 | 第39-40页 |
| ·光相位解调方法 | 第40-44页 |
| ·零差相位解调方法 | 第40-44页 |
| ·外差相位解调方法 | 第44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第三章 硅微光机械加速度地震检波器简谐振子的结构设计 | 第45-70页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·加速度地震检波器静态分析 | 第45-54页 |
| ·悬臂梁的小形变理论 | 第46-47页 |
| ·梁的弯曲应力理论 | 第47-49页 |
| ·十字梁形变分析 | 第49-51页 |
| ·十字梁应力与应变分析 | 第51-53页 |
| ·相位变化分析 | 第53-54页 |
| ·加速度地震检波器动态分析 | 第54-57页 |
| ·加速度计简谐振子结构设计 | 第57-60页 |
| ·加速度计有限元模拟 | 第60-68页 |
| ·加速度计模态分析 | 第60-63页 |
| ·加速度计的量程和失效分析 | 第63-66页 |
| ·加速度计的横向灵敏度 | 第66-67页 |
| ·加速度计的小挠度理论适用范围讨论 | 第67-68页 |
| ·小结 | 第68-70页 |
| 第四章 M-Z 光波导干涉仪工作原理及结构设计 | 第70-100页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·光波导基本原理 | 第70-75页 |
| ·光波导的射线理论 | 第70-73页 |
| ·光波导的电磁理论 | 第73-75页 |
| ·单模波导设计 | 第75-78页 |
| ·Y 分支波导设计 | 第78-84页 |
| ·Y 分支波导工作原理 | 第78-79页 |
| ·直接转向型Y 分支波导 | 第79-81页 |
| ·S 弧形Y-分支 | 第81-83页 |
| ·波导转向镜设计 | 第83-84页 |
| ·光束传播法(BPM)基本原理 | 第84-91页 |
| ·几种典型的BPM 方法 | 第84-88页 |
| ·边界条件 | 第88-91页 |
| ·BPM 法数值模拟 | 第91-96页 |
| ·波导偏振器设计 | 第96-99页 |
| ·小结 | 第99-100页 |
| 第五章 硅基微光机械加速度地震检波器的工艺研究 | 第100-115页 |
| ·引言 | 第100页 |
| ·波导干涉仪制作工艺 | 第100-104页 |
| ·分支波导制作 | 第102-104页 |
| ·波导反射镜制作 | 第104页 |
| ·波导干涉仪制作结果 | 第104-108页 |
| ·波导干涉仪通光测试结果 | 第108-109页 |
| ·简谐振子制作工艺 | 第109-113页 |
| ·简谐振子制作工艺 | 第110-113页 |
| ·简谐振子制作结果 | 第113-114页 |
| ·小结 | 第114-115页 |
| 第六章 总结与展望 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-131页 |
| 攻读博士学位期间发表论文和参加科研情况 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133页 |
