MEMS压阻式加速度传感器的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| §1.1 MEMS概论 | 第7-8页 |
| §1.2 MEMS国内外发展概况 | 第8-9页 |
| §1.3 MEMS应用领域及未来发展趋势 | 第9-10页 |
| §1.4 MEMS加速度传感器 | 第10-13页 |
| §1.5 结论 | 第13-14页 |
| 第二章 MEMS压阻式加速度传感器系统设计 | 第14-24页 |
| §2.1 MEMS压阻式加速度传感器的构成 | 第14-15页 |
| §2.2 敏感元件的工作原理 | 第15-16页 |
| §2.3 敏感原理 | 第16-19页 |
| §2.4 加速度传感器敏感结构的机械特性 | 第19-23页 |
| §2.5 结论 | 第23-24页 |
| 第三章 器件结构设计与模拟 | 第24-31页 |
| §3.1 器件结构与参数的确定 | 第24页 |
| §3.2 微结构的有限元模拟 | 第24-26页 |
| §3.3 版图设计说明 | 第26-30页 |
| §3.4 结论 | 第30-31页 |
| 第四章 工艺实验 | 第31-51页 |
| §4.1 硅微机械加工工艺概述 | 第31-38页 |
| §4.1.1 体硅微机械加工技术 | 第31-36页 |
| §4.1.2 表面微机械加工技术 | 第36-38页 |
| §4.1.3 LIGA工艺 | 第38页 |
| §4.2.加速度传感器的工艺流程 | 第38-47页 |
| §4.3 工艺中的一些问题及讨论 | 第47-50页 |
| §4.4 结论 | 第50-51页 |
| 第五章 封装及测试 | 第51-62页 |
| §5.1 传感器的封装 | 第51-54页 |
| §5.2 测试方法及结果 | 第54-61页 |
| §5.2.1 灵敏度与非线性度 | 第55-58页 |
| §5.2.2 加速度传感器频率特性实验 | 第58-60页 |
| §5.2.3 系统噪声实验 | 第60-61页 |
| §5.3 结论 | 第61-62页 |
| 第六章 总结 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
