| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·背景及意义 | 第9页 |
| ·ZnO 薄膜的性质 | 第9-15页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·ZnO 的基本性质及其应用 | 第10页 |
| ·Cu 掺杂ZnO 薄膜的发光特性 | 第10-11页 |
| ·ZnO 薄膜的透明导电性 | 第11-15页 |
| ·ZAO 膜的应用 | 第15页 |
| ·ZnO 材料研究面临的问题 | 第15-16页 |
| ·本论文的研究思路和主要内容 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备 | 第19-29页 |
| ·ZnO 薄膜的生长技术 | 第19-24页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第19-20页 |
| ·化学气相沉积技术（CVD） | 第20-21页 |
| ·金属有机物化学气相沉积（MOCVD） | 第21页 |
| ·分子束外延（MBE） | 第21页 |
| ·溶胶凝胶法(Sol-Gel) | 第21-22页 |
| ·磁控溅射 | 第22-24页 |
| ·本实验样品的制备 | 第24-27页 |
| ·基片的清洗 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-29页 |
| 第三章 薄膜的表征 | 第29-37页 |
| ·紫外透射和吸收谱 | 第29页 |
| ·膜厚的测量 | 第29-30页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第30-32页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第32-33页 |
| ·四探针电阻率测量 | 第33-34页 |
| ·阻抗分析仪 | 第34-36页 |
| ·阻抗的定义 | 第34-35页 |
| ·阻抗的测量方法 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第四章 ZN_(1-X)CU_XO 薄膜的结构、透光性和电学性质 | 第37-50页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·薄膜的XRD 分析 | 第38-40页 |
| ·ZN_(1-X)CU_XO 薄膜的SEM 分析 | 第40-41页 |
| ·ZN_(1-X)CU_XO 薄膜的AFM 分析 | 第41-42页 |
| ·ZN_(1-X)CU_XO 薄膜的透光性 | 第42-45页 |
| ·ZN_(1-X)CU_XO 薄膜的电学性质 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第五章 ZN_(1-X)MN_XO 薄膜的结构、透光性和电学性质 | 第50-60页 |
| ·薄膜的XRD 分析 | 第51-53页 |
| ·ZN_(1-X)MN_XO 薄膜的RAMAN 分析 | 第53-54页 |
| ·ZN_(1-X)MN_XO 薄膜的SEM 图片 | 第54-55页 |
| ·ZN_(1-X)MN_XO 薄膜的透光性 | 第55-57页 |
| ·ZN_(1-X)MN_XO 薄膜的电学性质 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第六章 结论 | 第60-62页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
