| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-35页 |
| ·课题来源与背景 | 第13页 |
| ·超高加速精密系统介绍 | 第13-15页 |
| ·高加速气浮运动系统介绍 | 第15-20页 |
| ·国内外研究现状综述 | 第20-28页 |
| ·机构与驱动形式 | 第20-23页 |
| ·系统建模与辨识 | 第23-25页 |
| ·运动控制策略 | 第25-27页 |
| ·高性能控制系统 | 第27-28页 |
| ·问题提出与研究路线 | 第28-32页 |
| ·问题描述 | 第28-30页 |
| ·研究与技术路线 | 第30-32页 |
| ·论文研究内容与安排 | 第32-35页 |
| 第二章 气浮运动系统分析与建模 | 第35-61页 |
| ·引言 | 第35-36页 |
| ·机电系统分析与建模 | 第36-45页 |
| ·平台动力学模型 | 第37-38页 |
| ·直线电机环节模型 | 第38-41页 |
| ·驱动放大环节模型 | 第41-43页 |
| ·机电系统模型 | 第43-45页 |
| ·机构薄弱环节分析与建模 | 第45-52页 |
| ·Y 轴机构薄弱环节 | 第45-51页 |
| ·X 轴机构薄弱环节 | 第51-52页 |
| ·干扰环境分析与建模 | 第52-59页 |
| ·直线电机推力纹波干扰 | 第52-53页 |
| ·传感器噪声干扰 | 第53-55页 |
| ·气浮系统内在干扰 | 第55-59页 |
| ·气浮运动系统模型综合描述 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第三章 气浮运动系统的继电反馈辨识 | 第61-93页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·继电反馈辨识的基本原理与方法 | 第62-71页 |
| ·继电反馈辨识的基本原理 | 第62-66页 |
| ·继电反馈辨识的主要方法 | 第66-71页 |
| ·面向交流伺服系统的继电反馈辨识非线性分析 | 第71-81页 |
| ·现象描述 | 第71-73页 |
| ·位置伺服环的非线性分析 | 第73-75页 |
| ·速度伺幅环的非线性分析 | 第75-79页 |
| ·电流伺服环的非线性分析 | 第79-81页 |
| ·交流伺服系统继电反馈辨识的参数选择和应用原则 | 第81-85页 |
| ·继电幅值选择分析 | 第81-82页 |
| ·延迟时间选择分析 | 第82-84页 |
| ·交流伺服系统继电反馈辨识的应用原则 | 第84-85页 |
| ·气浮运动系统的参数辨识 | 第85-90页 |
| ·面向控制的系统模型参数辨识 | 第85-87页 |
| ·面向控制的干扰模型参数辨识 | 第87-90页 |
| ·本章小结 | 第90-93页 |
| 第四章 气浮运动系统的快速抑振精确定位控制策略 | 第93-117页 |
| ·引言 | 第93-94页 |
| ·控制器设计目标与思想 | 第94-96页 |
| ·二自由度控制结构设计 | 第96-106页 |
| ·二自由度控制基本原理与方法 | 第96-99页 |
| ·反馈控制模块 | 第99-101页 |
| ·干扰观测模块 | 第101-103页 |
| ·前馈控制模块 | 第103-105页 |
| ·干扰补偿模块 | 第105-106页 |
| ·基于输入整形的快速抑振控制算法设计 | 第106-115页 |
| ·输入整形基本原理与方法 | 第106-107页 |
| ·基于有限时间Laplace 变换的输入整形算法 | 第107-113页 |
| ·基于最小跃度的输入整形优化 | 第113-115页 |
| ·快速抑振精确定位控制器实现 | 第115-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 第五章 气浮运动系统的控制系统实现 | 第117-139页 |
| ·引言 | 第117-118页 |
| ·基于RTX 的全软件控制器系统 | 第118-124页 |
| ·RTX 实时操作系统 | 第118-120页 |
| ·基于 RTX 全软件控制器系统的设计思路 | 第120-121页 |
| ·基于 RTX 全软件控制系统的开发实现 | 第121-124页 |
| ·改进型“RTX+MCT8000F4”控制器系统 | 第124-129页 |
| ·改进型“RTX+MCT8000F4”控制器系统的设计思路 | 第125-126页 |
| ·改进型“RTX+MCT8000F4”控制器系统的开发实现 | 第126-129页 |
| ·基于dSPACE 平台控制系统 | 第129-135页 |
| ·基于 dSPACE 平台控制系统的设计思路 | 第129-131页 |
| ·基于 dSPACE 平台控制系统的开发实现 | 第131-135页 |
| ·比较与应用 | 第135-138页 |
| ·本章小结 | 第138-139页 |
| 第六章 系统仿真与实验 | 第139-175页 |
| ·引言 | 第139页 |
| ·气浮运动系统继电反馈辨识仿真与实验 | 第139-157页 |
| ·继电反馈测试原理仿真 | 第139-142页 |
| ·继电反馈测试非线性分析与参数选择仿真和实验 | 第142-153页 |
| ·基于继电反馈的气浮运动系统参数辨识实验 | 第153-157页 |
| ·气浮运动系统快速抑振精确定位控制仿真与实验 | 第157-173页 |
| ·二自由度结构控制器的仿真与实验 | 第158-165页 |
| ·输入整形算法仿真与实验 | 第165-168页 |
| ·快速抑振精确定位控制的仿真与实验 | 第168-173页 |
| ·本章小结 | 第173-175页 |
| 第七章 总结与展望 | 第175-179页 |
| ·论文工作总结 | 第175-176页 |
| ·论文创新点 | 第176-177页 |
| ·研究展望 | 第177-179页 |
| 参考文献 | 第179-191页 |
| 攻读博士学位期间已发表的学术论文 | 第191-193页 |
| 攻读博士学位期间登记的软件著作权 | 第193-195页 |
| 致谢 | 第195-196页 |