| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-17页 |
| ·铁电材料简介 | 第6-7页 |
| ·铁电薄膜简介 | 第7-12页 |
| ·铁电薄膜的发展历史 | 第7-8页 |
| ·铁电薄膜的性能及应用 | 第8-9页 |
| ·铁电材料的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第10-12页 |
| ·铁电薄膜的研究现状 | 第12-16页 |
| ·概述 | 第12-13页 |
| ·关于疲劳特性 | 第13-14页 |
| ·关于取向生长 | 第14-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 BNdT薄膜的制备工艺与分析测试方法 | 第17-26页 |
| ·实验原料 | 第17页 |
| ·实验仪器 | 第17-18页 |
| ·BNdT薄膜的制备 | 第18-20页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第19页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第19-20页 |
| ·结构分析 | 第20-21页 |
| ·X射线衍射 | 第20-21页 |
| ·透射电镜 | 第21页 |
| ·扫描电镜 | 第21页 |
| ·电学性能测量 | 第21-26页 |
| ·铁电性能 | 第22-25页 |
| ·介电性能 | 第25-26页 |
| 第三章 在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备择优取向生长的Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜 | 第26-32页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第26-28页 |
| ·铁电性能 | 第28-30页 |
| ·电滞回线 | 第28页 |
| ·疲劳特性 | 第28-29页 |
| ·保持力 | 第29-30页 |
| ·介电性能 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第四章 在(001)Y-ZrO_2衬底上制备a/b轴择优取向的Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜 | 第32-37页 |
| ·晶格结构讨论 | 第32页 |
| ·薄膜结构分析 | 第32-35页 |
| ·晶粒取向生长机制探讨 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 结论 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-45页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-48页 |