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氧化物半导体纳米纤维的制备及其在气体传感和场效应器件上的应用

提要第1-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-11页
第一章 绪论第11-27页
   ·气体传感器概述第11-17页
     ·气体传感器的发展第11-13页
     ·气体传感器的分类第13-14页
     ·半导体气体传感器基本原理第14-16页
     ·半导体气敏元件结构第16页
     ·半导体气体传感器的技术参数第16-17页
   ·气体敏感材料第17-22页
     ·发展成熟的半导体敏感材料第17-18页
     ·一维纳米纤维材料在气体传感器领域的应用第18-22页
   ·静电纺丝技术第22-25页
     ·静电纺丝装置第23-24页
     ·静电纺丝技术在 FET 上的应用第24-25页
   ·本论文研究的主要内容及意义第25-27页
第二章 WO_3纳米纤维的制备及其气敏性能第27-43页
   ·WO_3气体传感器的发展现状第27-31页
     ·WO_3气体传感器的发展现状第27-29页
     ·WO_3气体传感器的应用第29-31页
   ·WO_3纳米纤维的制备第31-34页
     ·实验药品及设备第31页
     ·WCl_6制备 WO_3纳米纤维第31-34页
   ·WO_3纳米纤维材料的表征第34-37页
   ·WO_3纳米纤维气体传感器的制作及其敏感性能测试第37-41页
     ·WO_3气敏元件的制成第37-38页
     ·WO_3纳米纤维气体传感器的敏感性能测试第38-41页
   ·本章小结第41-43页
第三章 In_2O_3纳米纤维在场效应晶体管上的应用初探第43-53页
   ·一维半导体氧化物应用在 FET 领域的可行性及发展现状第43-47页
     ·一维半导体氧化物应用在 FET 领域的可行性分析第43-44页
     ·一维无机半导体氧化物纳米材料在 FET 领域的发展现状第44-47页
   ·In_2O_3纳米纤维的制备及其在 FET 上应用的初探第47-52页
     ·In_2O_3纳米纤维的制备及表征第47-49页
     ·基于 In_2O_3纳米纤维的 FET 器件制作及性能的初探第49-52页
   ·本章小结第52-53页
第四章 结论与展望第53-54页
参考文献第54-58页
作者简介及攻读硕士期间发表的学术论文第58-59页
致谢第59页

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