组件针孔疵病检测仪及其算法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·组件针孔疵病检测仪科学研究的技术背景 | 第7-11页 |
| ·数字图像处理技术 | 第7-8页 |
| ·基于硬件的软件系统设计 | 第8页 |
| ·计算机自动控制 | 第8页 |
| ·半导体材料缺陷 | 第8-9页 |
| ·测量结果的重复性 | 第9-11页 |
| ·组件针孔疵病检测仪的必要性和优点 | 第11-12页 |
| ·微光像增强器与GaAs阴极组件 | 第11-12页 |
| ·组件针孔疵病检测仪的优点 | 第12页 |
| ·本文研究的意义 | 第12页 |
| ·本文所做的工作 | 第12-14页 |
| 2 组件针孔疵病检测仪理论基础 | 第14-27页 |
| ·组件针孔疵病检测算法理论 | 第14-20页 |
| ·目标提取的基本理论 | 第14页 |
| ·基于阈值的分割方法 | 第14-17页 |
| ·区域生长和无向连通图遍历算法 | 第17-19页 |
| ·基于区域的形状表示和描述 | 第19-20页 |
| ·海量图片无缝拼接算法理论 | 第20-24页 |
| ·图片无缝拼接基本理论 | 第20-22页 |
| ·图像缩放理论 | 第22-24页 |
| ·自动聚焦基本理论 | 第24-27页 |
| ·基于图像处理的自动调焦 | 第24页 |
| ·自动调焦判据函数 | 第24-26页 |
| ·调焦判据函数的选取 | 第26-27页 |
| 3 组件针孔疵病检测仪设计与硬件研制 | 第27-36页 |
| ·组件针孔疵病检测仪的设计原理 | 第27-28页 |
| ·组件针孔疵病检测仪的技术要求 | 第28页 |
| ·组件针孔疵病检测仪硬件系统介绍 | 第28-36页 |
| ·显微镜装置 | 第28-30页 |
| ·图像采集系统 | 第30-32页 |
| ·夹具装置和校准装置 | 第32-33页 |
| ·焦距调节装置 | 第33-35页 |
| ·计算机系统 | 第35-36页 |
| 4 组件针孔疵病检测仪的软件设计 | 第36-52页 |
| ·组件针孔疵病检测仪总体软件结构 | 第36-37页 |
| ·CCD图像采集模块 | 第37-39页 |
| ·图像采集卡的设置 | 第37页 |
| ·图像采集卡的软件控制 | 第37-38页 |
| ·多线程技术 | 第38-39页 |
| ·二维平移台控制模块 | 第39-43页 |
| ·二维平移台控制软件设计 | 第39页 |
| ·串口通信 | 第39-41页 |
| ·扫描轨道的设计 | 第41-42页 |
| ·IO卡实现自动调焦控制 | 第42-43页 |
| ·界面交互软件模块 | 第43-44页 |
| ·图像处理软件模块 | 第44-51页 |
| ·瑕疵检测算法的设计与实现 | 第44-48页 |
| ·无缝拼接算法的设计与实现 | 第48-50页 |
| ·组件针孔疵病整合算法 | 第50-51页 |
| ·数据管理模块 | 第51-52页 |
| 5 组件针孔疵病检测仪检测结果与分析 | 第52-63页 |
| ·组件针孔疵病检测仪检测步骤与结果 | 第52-60页 |
| ·组件针孔疵病检测仪重复性测试 | 第60-63页 |
| 6 结束语 | 第63-65页 |
| ·本文所做的工作 | 第63页 |
| ·本文的创新点 | 第63-64页 |
| ·有待进一步解决的问题 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录 | 第69页 |
