| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-10页 |
| ·论文的背景及研究意义 | 第8-9页 |
| ·论文主要内容及研究方法 | 第9-10页 |
| 第二章 有限元方法基础 | 第10-24页 |
| ·有限元法概览 | 第10-12页 |
| ·有限元法的基本过程 | 第10-11页 |
| ·有限元法的特点 | 第11页 |
| ·有限元法的求解问题 | 第11-12页 |
| ·有限元法的数学基础 | 第12-24页 |
| ·边值问题 | 第12页 |
| ·里兹方法 | 第12-14页 |
| ·伽辽金法 | 第14-15页 |
| ·插值函数 | 第15-20页 |
| ·有限元方程组建立 | 第20-22页 |
| ·方程组求解 | 第22-24页 |
| 第三章 有限元法在互连电热模拟中的应用 | 第24-47页 |
| ·热传导方程及其有限元求解 | 第24-29页 |
| ·热传导方程 | 第24-25页 |
| ·方程的空间离散 | 第25-27页 |
| ·方程的时域离散及线性化 | 第27-28页 |
| ·线性方程组的求解 | 第28-29页 |
| ·热分析软件的开发及检验 | 第29-33页 |
| ·热分析软件开发 | 第29-31页 |
| ·热分析软件验证 | 第31-33页 |
| ·多层高密度互连线在静电脉冲作用下的电热模拟 | 第33-47页 |
| ·多层高密度互连线阵的三维模型 | 第33-34页 |
| ·静电放电脉冲波形 | 第34-35页 |
| ·模拟结果及讨论 | 第35-47页 |
| 第四章 砷化镓场效应管在高功率脉冲作用下的电热耦合模拟 | 第47-59页 |
| ·材料特性及器件建模 | 第47-48页 |
| ·损伤功率值随激励脉冲宽度变化规律 | 第48-52页 |
| ·损伤功率阀值随激励脉冲重复频率变化规律 | 第52-56页 |
| ·损伤功率值随激励脉冲工作频率变化规律 | 第56-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·研究总结 | 第59-60页 |
| ·研究展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65-68页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第68页 |