MEMS微镜电热传输特性的研究与应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| 1.1 MEMS微镜的研究意义与背景 | 第7-11页 |
| 1.1.1 MEMS简介 | 第7-8页 |
| 1.1.2 MEMS国内外研究现状和发展趋势 | 第8-9页 |
| 1.1.3 MEMS的应用领域 | 第9-10页 |
| 1.1.4 MEMS加工技术 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS微镜的分类与应用 | 第11-14页 |
| 1.2.1 MEMS微镜 | 第11页 |
| 1.2.2 MEMS微镜分类 | 第11-13页 |
| 1.2.3 MEMS微镜的应用领域 | 第13-14页 |
| 1.3 论文安排 | 第14-16页 |
| 第二章 电热型MEMS微镜结构分析 | 第16-27页 |
| 2.1 电热MEMS微镜的分类 | 第16-18页 |
| 2.2 电热硅梁结构MEMS微镜 | 第18-21页 |
| 2.2.1 结构模型 | 第18页 |
| 2.2.2 结构参数的选定 | 第18-20页 |
| 2.2.3 材料的选择 | 第20-21页 |
| 2.3 电热硅梁结构的热驱动原理 | 第21-22页 |
| 2.4 热传递的理论 | 第22-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 数学物理方程求解硅梁结构的温度分布 | 第27-42页 |
| 3.1 数学物理方程理论 | 第27-30页 |
| 3.1.1 能量守恒与热传导方程 | 第27-30页 |
| 3.2 电热型硅梁结构传热分析 | 第30-33页 |
| 3.3 传热方程的数值分析 | 第33-34页 |
| 3.4 温度分布结果分析 | 第34-40页 |
| 3.4.1 有无热对流和热辐射对温度分布的影响 | 第35-37页 |
| 3.4.2 不同电压值对温度分布的影响 | 第37-38页 |
| 3.4.3 不同空气层对温度分布的影响 | 第38页 |
| 3.4.4 不同结构参数对温度分布的影响 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 有限差分法求解硅梁结构的温度分布 | 第42-55页 |
| 4.1 有限差分法理论 | 第42-44页 |
| 4.1.1 差分原理 | 第42-43页 |
| 4.1.2 逼近误差与差商精度 | 第43-44页 |
| 4.2 电热型硅梁结构传热分析 | 第44-46页 |
| 4.3 传热方程的数值分析 | 第46-47页 |
| 4.4 温度分布结果分析 | 第47-53页 |
| 4.4.1 数学物理方程与有限差分方法的对比 | 第47-49页 |
| 4.4.2 不同电压值对温度分布的影响 | 第49页 |
| 4.4.3 不同空气层对温度分布的影响 | 第49-50页 |
| 4.4.4 不同结构参数对温度分布的影响 | 第50-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 仿真与测试结果分析 | 第55-64页 |
| 5.1 理论仿真与COMSOL仿真的对比 | 第55-59页 |
| 5.1.1 有限元思想 | 第55-56页 |
| 5.1.2 结果对比 | 第56-59页 |
| 5.2 不同参数值对温度分布的影响 | 第59-63页 |
| 5.2.1 不同电压值对温度分布的影响 | 第59-60页 |
| 5.2.2 不同空气层对温度分布的影响 | 第60-61页 |
| 5.2.3 不同结构参数对温度分布的影响 | 第61-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 工作总结 | 第64页 |
| 6.2 工作展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第69-70页 |
