| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状与发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.2.1 质谱仪研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 质谱仪器发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第13-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 四极质谱仪总体设计方案研究 | 第16-29页 |
| 2.1 质谱仪器 | 第16-17页 |
| 2.2 四极质谱仪原理 | 第17-25页 |
| 2.2.1 离子源 | 第17-18页 |
| 2.2.2 四极滤质器 | 第18-25页 |
| 2.2.3 离子检测装置 | 第25页 |
| 2.3 四极质谱仪选材分析 | 第25-26页 |
| 2.3.1 选材要求 | 第25页 |
| 2.3.2 各零部件选材分析 | 第25-26页 |
| 2.4 四极质谱仪总体设计方案 | 第26-28页 |
| 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 四极质谱仪的模拟设计 | 第29-41页 |
| 3.1 模型建立 | 第29-30页 |
| 3.1.1 设计要求 | 第29页 |
| 3.1.2 模型建立 | 第29-30页 |
| 3.2 仿真流程 | 第30-31页 |
| 3.3 仿真结果与分析研究 | 第31-40页 |
| 3.3.1 初始模型仿真结果分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 离子通过率随a、q值变化曲线 | 第32-34页 |
| 3.3.3 高极场效应对四极质谱仪性能的影响及圆柱形极杆尺寸范围的确定 | 第34-35页 |
| 3.3.4 四极场与质量分辨模拟结果 | 第35-40页 |
| 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 四极质谱仪的机械结构设计与电路设计 | 第41-58页 |
| 4.1 四极质谱仪结构设计 | 第41-47页 |
| 4.1.1 离子源的设计 | 第41-43页 |
| 4.1.2 四极滤质器的设计 | 第43-44页 |
| 4.1.3 离子检测装置的设计 | 第44-45页 |
| 4.1.4 其它零件的设计 | 第45-47页 |
| 4.2 装配前检查与处理 | 第47-48页 |
| 4.3 四极质谱仪的装配 | 第48-52页 |
| 4.3.1 装配过程 | 第48-50页 |
| 4.3.2 整体结构 | 第50-52页 |
| 4.4 电路设计 | 第52-57页 |
| 4.4.1 离子源电路设计 | 第52-55页 |
| 4.4.2 四极质谱仪射频电源选用 | 第55-57页 |
| 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 四极质谱仪的性能测试 | 第58-70页 |
| 5.1 真空实验平台的设计与搭建 | 第58-62页 |
| 5.1.1 真空系统 | 第58-59页 |
| 5.1.2 气体导入装置与四极质谱仪用射频电源 | 第59-60页 |
| 5.1.3 实验平台搭建 | 第60-62页 |
| 5.2 四极质谱仪的基本性能测试 | 第62-69页 |
| 5.2.1 真空排气与检漏 | 第62-63页 |
| 5.2.2 四极质谱仪测试结果分析 | 第63-69页 |
| 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |