精细宽幅三维光学测量仪的软件系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 形貌检测方法研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 机器视觉自动化系统研究现状 | 第11-12页 |
| 1.4 相关图像算法研究现状 | 第12-13页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 形貌检测系统硬件分析和优化 | 第15-23页 |
| 2.1 系统硬件组成概述 | 第15-16页 |
| 2.2 视觉单元参数选择及驱动设计 | 第16-18页 |
| 2.3 视觉单元驱动程序测试结果分析 | 第18-19页 |
| 2.4 运动控制单元硬件参数分析 | 第19-20页 |
| 2.5 运动控制单元驱动设计及结果分析 | 第20-22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 干涉图像预处理算法设计 | 第23-40页 |
| 3.1 基于圆检测的图像前景分割算法 | 第23-31页 |
| 3.1.1 利用绿色通道均值加权的灰度化算法 | 第23-25页 |
| 3.1.2 利用分类方法确定二值化阈值 | 第25-28页 |
| 3.1.3 一阶差分提取二值化圆斑边缘 | 第28-29页 |
| 3.1.4 基于圆检测方法分割前景圆斑 | 第29-31页 |
| 3.2 分割算法性能分析与比较 | 第31页 |
| 3.3 基于图像低频的大噪声点定位算法 | 第31-35页 |
| 3.3.1 离散正弦变换计算图像的低频信息 | 第32-33页 |
| 3.3.2 基于均值数字特征集合生成方法 | 第33页 |
| 3.3.3 基于差异值数字特征集合生成方法 | 第33-34页 |
| 3.3.4 基于汉明距离的加权模板匹配方法 | 第34-35页 |
| 3.4 大噪声点定位算法性能对比实验 | 第35-37页 |
| 3.5 大噪声点快速修复算法 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 软件构架与实现方法 | 第40-51页 |
| 4.1 软件系统设计概述 | 第40-41页 |
| 4.2 基于精确移动的二维拼接实现方法 | 第41-43页 |
| 4.3 三维表面形貌编程思想与实现方法 | 第43-45页 |
| 4.4 软件系统界面与功能逻辑设计 | 第45-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 系统调试与检测结果分析 | 第51-62页 |
| 5.1 波片光轴方向确定方法研究 | 第51-52页 |
| 5.2 不同样品测量结果分析 | 第52-58页 |
| 5.2.1 晶圆片抛光面形貌分析 | 第52-54页 |
| 5.2.2 晶圆片未抛光面形貌分析 | 第54-56页 |
| 5.2.3 刻蚀电路结构晶圆片形貌检测 | 第56-58页 |
| 5.3 二维拼接实验测试及系统性能分析 | 第58-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
