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纳米压印脱模坍塌及掩模板拓扑结构图形转移影响研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
1 引言第11-17页
    1.1 选题背景第11-14页
    1.2 文章选题的依据、目的和意义第14-15页
    1.3 本文的结构安排第15-17页
2 金属直接纳米压印技术的原理及发展第17-30页
    2.1 金属直接纳米压印基本原理第17-18页
    2.2 金属直接压印技术分类第18-25页
        2.2.1 激光辅助直接压印第18-20页
        2.2.2 金属薄膜直接压印第20-22页
        2.2.3 金属纳米粒子压印第22-25页
    2.3 金属直接压印技术新发展第25-29页
        2.3.1 3D金属纳米压印技术第25-26页
        2.3.2 金属纳米颗粒喷墨纳米压印第26-27页
        2.3.3 金属纳米粒子假塑性流体纳米压印第27-29页
    2.4 本章小结第29-30页
3 金属纳米粒子假塑性流体纳米压印图形坍塌问题研究第30-48页
    3.1 坍塌模型第30-32页
    3.2 仿真分析第32-33页
    3.3 PMNF参数的影响第33-42页
        3.3.1 坍塌界面第33-35页
        3.3.2 微纳结构坍塌体受力分析第35-39页
            3.3.2.1 大气压力第35-36页
            3.3.2.2 重力作用第36页
            3.3.2.3 表面张力作用第36-37页
            3.3.2.4 分子间作用力第37-38页
            3.3.2.5 粘滞阻力第38-39页
        3.3.3 坍塌体临界条件分析第39-42页
    3.4 脱模速度对坍塌体的影响第42-46页
        3.4.1 速度边界层第42-43页
        3.4.2 滑移速度分析第43-44页
        3.4.3 脱模速度第44-46页
    3.5 本章小结第46-48页
4 掩模板拓扑结构对压印图形的影响第48-59页
    4.1 拓扑结构掩模板第48-49页
    4.2 压印初始所需压强第49-54页
        4.2.1 压印初始受力分析第50-52页
            4.2.1.1 范德华力第50-51页
            4.2.1.2 摩擦力第51页
            4.2.1.3 毛细力第51-52页
            4.2.1.4 压强力第52页
        4.2.2 施加压强解析分析第52-54页
    4.3 压印填充速度第54-57页
    4.4 压印填充效果第57-58页
    4.5 本章小结第58-59页
5 拓扑掩模板压印过程的模拟第59-65页
    5.1 掩模板拓扑结构对介质流体粘度的影响第59-62页
    5.2 不同掩模板结构下的填充效果第62-64页
    5.3 本章小结第64-65页
6 结论及展望第65-68页
    6.1 结论第65-66页
    6.2 展望第66-68页
参考文献第68-71页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第71-72页
致谢第72页

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