摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
1 引言 | 第11-17页 |
1.1 选题背景 | 第11-14页 |
1.2 文章选题的依据、目的和意义 | 第14-15页 |
1.3 本文的结构安排 | 第15-17页 |
2 金属直接纳米压印技术的原理及发展 | 第17-30页 |
2.1 金属直接纳米压印基本原理 | 第17-18页 |
2.2 金属直接压印技术分类 | 第18-25页 |
2.2.1 激光辅助直接压印 | 第18-20页 |
2.2.2 金属薄膜直接压印 | 第20-22页 |
2.2.3 金属纳米粒子压印 | 第22-25页 |
2.3 金属直接压印技术新发展 | 第25-29页 |
2.3.1 3D金属纳米压印技术 | 第25-26页 |
2.3.2 金属纳米颗粒喷墨纳米压印 | 第26-27页 |
2.3.3 金属纳米粒子假塑性流体纳米压印 | 第27-29页 |
2.4 本章小结 | 第29-30页 |
3 金属纳米粒子假塑性流体纳米压印图形坍塌问题研究 | 第30-48页 |
3.1 坍塌模型 | 第30-32页 |
3.2 仿真分析 | 第32-33页 |
3.3 PMNF参数的影响 | 第33-42页 |
3.3.1 坍塌界面 | 第33-35页 |
3.3.2 微纳结构坍塌体受力分析 | 第35-39页 |
3.3.2.1 大气压力 | 第35-36页 |
3.3.2.2 重力作用 | 第36页 |
3.3.2.3 表面张力作用 | 第36-37页 |
3.3.2.4 分子间作用力 | 第37-38页 |
3.3.2.5 粘滞阻力 | 第38-39页 |
3.3.3 坍塌体临界条件分析 | 第39-42页 |
3.4 脱模速度对坍塌体的影响 | 第42-46页 |
3.4.1 速度边界层 | 第42-43页 |
3.4.2 滑移速度分析 | 第43-44页 |
3.4.3 脱模速度 | 第44-46页 |
3.5 本章小结 | 第46-48页 |
4 掩模板拓扑结构对压印图形的影响 | 第48-59页 |
4.1 拓扑结构掩模板 | 第48-49页 |
4.2 压印初始所需压强 | 第49-54页 |
4.2.1 压印初始受力分析 | 第50-52页 |
4.2.1.1 范德华力 | 第50-51页 |
4.2.1.2 摩擦力 | 第51页 |
4.2.1.3 毛细力 | 第51-52页 |
4.2.1.4 压强力 | 第52页 |
4.2.2 施加压强解析分析 | 第52-54页 |
4.3 压印填充速度 | 第54-57页 |
4.4 压印填充效果 | 第57-58页 |
4.5 本章小结 | 第58-59页 |
5 拓扑掩模板压印过程的模拟 | 第59-65页 |
5.1 掩模板拓扑结构对介质流体粘度的影响 | 第59-62页 |
5.2 不同掩模板结构下的填充效果 | 第62-64页 |
5.3 本章小结 | 第64-65页 |
6 结论及展望 | 第65-68页 |
6.1 结论 | 第65-66页 |
6.2 展望 | 第66-68页 |
参考文献 | 第68-71页 |
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第71-72页 |
致谢 | 第72页 |