| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 精密定位技术研究意义 | 第10页 |
| 1.2 柔顺机构技术研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 精密定位平台系统发展现状 | 第13-17页 |
| 1.4 本论文主要研究内容及创新点 | 第17-20页 |
| 1.4.1 本论文主要研究内容及技术路线 | 第17-18页 |
| 1.4.2 本论文的创新点 | 第18-20页 |
| 第二章 波纹簧片型柔性单元的变形轨迹 | 第20-32页 |
| 2.1 前言 | 第20页 |
| 2.2 波纹簧片型柔性单元 | 第20-22页 |
| 2.3 单元段的变形分析 | 第22-26页 |
| 2.3.1 半环形梁段的伪刚体模型 | 第22-24页 |
| 2.3.2 直片段的大变形 | 第24-25页 |
| 2.3.3 单元段的变形分析 | 第25-26页 |
| 2.4 波纹单元的变形轨迹求解 | 第26-31页 |
| 2.4.1 单元段的变形叠加 | 第26-28页 |
| 2.4.2 轨迹公式图形化 | 第28-29页 |
| 2.4.3 验证分析 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 波纹簧片型柔性单元的刚度分析 | 第32-46页 |
| 3.1 前言 | 第32页 |
| 3.2 刚度分析 | 第32-37页 |
| 3.2.1 平动刚度 | 第33-36页 |
| 3.2.2 转动刚度 | 第36-37页 |
| 3.3 参数研究 | 第37-42页 |
| 3.3.1 刚度图形化 | 第37-39页 |
| 3.3.2 参数分析 | 第39-42页 |
| 3.4 柔顺铰链设计 | 第42-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于波纹簧片型柔性单元的精密定位平台的总体设计 | 第46-58页 |
| 4.1 前言 | 第46页 |
| 4.2 平台结构 | 第46-48页 |
| 4.2.1 平台模型 | 第46-47页 |
| 4.2.2 波纹单元的设计 | 第47-48页 |
| 4.3 动静态特性的有限元分析 | 第48-50页 |
| 4.4 电磁驱动器的设计 | 第50-53页 |
| 4.4.1 电磁驱动器 | 第50-51页 |
| 4.4.2 非线性驱动力 | 第51-52页 |
| 4.4.3 极值点 | 第52-53页 |
| 4.5 精密定位平台系统的搭建 | 第53-57页 |
| 4.5.1 平台实体模型 | 第53-54页 |
| 4.5.2 容性负载电路 | 第54-55页 |
| 4.5.3 系统搭建 | 第55-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 精密定位平台运动控制研究 | 第58-70页 |
| 5.1 前言 | 第58页 |
| 5.2 平台静态特性测定 | 第58-59页 |
| 5.3 平台运动特性分析 | 第59-63页 |
| 5.3.1 磁滞 | 第59-61页 |
| 5.3.2 残余震荡 | 第61-63页 |
| 5.3.3 位移峰值偏移 | 第63页 |
| 5.4 平台开环控制技术研究 | 第63-67页 |
| 5.4.1 控制关系简化 | 第63-64页 |
| 5.4.2 驱动关系曲线拟合 | 第64-65页 |
| 5.4.3 电压补偿 | 第65-67页 |
| 5.5 精密定位平台定位实验研究 | 第67-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 三种两自由度精密定位平台的性能对比 | 第70-76页 |
| 6.1 前言 | 第70页 |
| 6.2 三种精密定位平台的有限元分析结果对比 | 第70-73页 |
| 6.3 三种精密定位平台的实验研究对比 | 第73-75页 |
| 6.3.1 静态特性 | 第73-74页 |
| 6.3.2 定位控制 | 第74-75页 |
| 6.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 总结与展望 | 第76-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 附件 | 第91页 |