| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 研究背景和意义 | 第10-13页 |
| 1.3 宏微双驱动国内外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3.1 宏微双驱动定位系统的国内外研究现状及发展 | 第13-16页 |
| 1.3.2 宏微双驱动定位系统控制算法的国内外研究现状及发展 | 第16-18页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第18-21页 |
| 第2章 飞秒激光双光子聚合加工平台 | 第21-36页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 飞秒激光双光子聚合加工实验平台的基本结构 | 第21-22页 |
| 2.3 激光器 | 第22-23页 |
| 2.4 定位系统的反馈检测装置 | 第23-25页 |
| 2.5 大行程三维宏动平台 | 第25-27页 |
| 2.6 三维压电微动平台 | 第27-31页 |
| 2.6.1 微动定位平台驱动方法分析 | 第27-31页 |
| 2.6.2 微动定位平台支撑导向结构 | 第31页 |
| 2.7 二维X-Y振镜系统 | 第31-32页 |
| 2.8 激光快门 | 第32-34页 |
| 2.9 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 飞秒激光双光子聚合加工系统的建模及控制策略 | 第36-51页 |
| 3.1 引言 | 第36-37页 |
| 3.2 三维宏动平台的动力学建模及控制策略 | 第37-44页 |
| 3.2.1 三维宏动平台的建模 | 第37-38页 |
| 3.2.2 基于Kalman滤波器的滑模控制 | 第38-40页 |
| 3.2.3 三维宏动平台的仿真实验 | 第40-44页 |
| 3.3 三维压电微动定位平台的动力学建模及控制策略 | 第44-49页 |
| 3.3.1 三维压电微动平台的建模 | 第44-45页 |
| 3.3.2 RBF网络自适应鲁棒滑膜控制 | 第45-46页 |
| 3.3.3 实验设备及模型辨识 | 第46-48页 |
| 3.3.4 三维压电微动平台仿真实验 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 飞秒激光双光子聚合加工系统的协调联动控制 | 第51-62页 |
| 4.1 基于AEROTECH的A3200控制系统 | 第51-52页 |
| 4.2 虚拟仪器的主要优势及应用 | 第52-53页 |
| 4.3 宏微双驱动定位运动系统的协调联动控制 | 第53-61页 |
| 4.3.1 三维宏动定位运动平台的协调联动控制 | 第54-56页 |
| 4.3.2 三维微动定位运动平台的协调联动控制 | 第56-59页 |
| 4.3.3 三维微动平台与激光光快门的协调控制 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 飞秒激光双光子聚合加工系统的加工实验及分析 | 第62-71页 |
| 5.1 光刻胶 | 第62-64页 |
| 5.2 飞秒激光双光子聚合加工技术的加工工艺流程 | 第64-66页 |
| 5.3 双光子聚合加工系统的加工实验分析 | 第66-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 第6章 结论 | 第71-73页 |
| 6.1 结论 | 第71页 |
| 6.2 工作展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 作者简介 | 第80-81页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第81页 |
