| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.2 国内外相关课题的研究进展 | 第9-11页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 MSM 结构光探测器的工作原理 | 第13-27页 |
| 2.1 光探测器的主要参数及其物理意义 | 第13-17页 |
| 2.1.1 暗电流特性 | 第13页 |
| 2.1.2 光电流特性 | 第13-14页 |
| 2.1.3 量子效率 | 第14-15页 |
| 2.1.4 光响应度 | 第15-16页 |
| 2.1.5 光谱响应特性 | 第16页 |
| 2.1.6 电容和截止频率 | 第16-17页 |
| 2.2 MSM 结构光探测器的基本工作原理 | 第17-18页 |
| 2.3 肖特基结构的电流—电压特性 | 第18-20页 |
| 2.4 MSM 结构光探测器的电流—电压特性 | 第20-25页 |
| 2.5 MSM 结构光探测器的电容—电压特性 | 第25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 MgZnO MSM 紫外光探测器的制备与器件建模 | 第27-45页 |
| 3.1 实验制备 | 第27-28页 |
| 3.2 半导体方程与物理模型 | 第28-32页 |
| 3.2.1 泊松方程 | 第29页 |
| 3.2.2 电流密度方程 | 第29-30页 |
| 3.2.3 连续性方程 | 第30页 |
| 3.2.4 载流子浓度 | 第30-32页 |
| 3.2.5 载流子迁移率 | 第32页 |
| 3.3 数值建模与求解 | 第32-38页 |
| 3.3.1 边界条件 | 第33-34页 |
| 3.3.2 基本方程的离散化和计算过程 | 第34-38页 |
| 3.4 MgZnO MSM 紫外光探测器特性分析 | 第38-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 新型电极结构 MgZnO MSM 光探测器研究 | 第45-59页 |
| 4.1 三棱柱形和半圆柱形 MgZnO MSM 紫外光探测器研究 | 第45-51页 |
| 4.1.1 常规矩形 MSM 电极的不足 | 第45页 |
| 4.1.2 三棱柱形和半圆柱形电极理论及分析 | 第45-47页 |
| 4.1.3 器件结构与数值仿真 | 第47-51页 |
| 4.2 不对称电极结构 MgZnO MSM 紫外光探测器研究 | 第51-55页 |
| 4.2.1 不对称功函数金属电极 MSM 光探测器 | 第52-54页 |
| 4.2.2 不对称接触面积电极 MSM 光探测器 | 第54-55页 |
| 4.3 不对称功函数三棱柱形和半圆柱形电极 MSM 光探测器 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 研究成果 | 第67-68页 |
