| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·微电子机械系统(MEMS)技术 | 第10-17页 |
| ·MEMS技术概述 | 第10-11页 |
| ·MEMS制造技术 | 第11-13页 |
| ·RF MEMS技术在通信系统中的作用 | 第13-17页 |
| ·RF MEMS滤波器 | 第17-23页 |
| ·RF MEMS滤波器的国内外发展状况 | 第18-22页 |
| ·RF MEMS可变滤波器的研究意义 | 第22-23页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 RF MEMS技术的微波理论基础 | 第24-45页 |
| ·引言 | 第24-32页 |
| ·传输线理论 | 第24-28页 |
| ·微波二端口网络 | 第28-32页 |
| ·微波滤波器设计 | 第32-45页 |
| ·滤波器的性能指标 | 第33-35页 |
| ·滤波器的设计方法 | 第35-38页 |
| ·归一化低通滤波器的一般概念 | 第38-45页 |
| 第三章 共面波导和电磁带隙结构 | 第45-65页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·共面波导(COPLANAR WAVEGUIDE,CPW) | 第45-48页 |
| ·CPW分布参数模型 | 第45-47页 |
| ·CPW等效电路模型 | 第47-48页 |
| ·电磁带隙(ELECTROMAGNETIC BANDGAP,EBG) | 第48-51页 |
| ·基于CPW的EBG结构的特性 | 第51-60页 |
| ·CPW-EBG结构的等效电路提取 | 第55-59页 |
| ·等效电路总结 | 第59-60页 |
| ·CPW EBG结构在滤波器中的应用 | 第60-65页 |
| ·EBG结构的带阻特性和慢波特性 | 第60-62页 |
| ·EBG结构用于带阻滤波器 | 第62-65页 |
| 第四章 基于MEMS开关的可切换滤波器设计和建模分析 | 第65-87页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·RFMEMS开关 | 第65-75页 |
| ·RF MEMS开关建模 | 第65-74页 |
| ·RF MEMS开关设计 | 第74-75页 |
| ·MEMS滤波器设计 | 第75-83页 |
| ·EBG单元 | 第75-78页 |
| ·使用EBG结构构成低通滤波器 | 第78-80页 |
| ·使用EBG结果构成带通滤波器 | 第80-83页 |
| ·基于MEMS开关的可切换滤波器设计 | 第83-87页 |
| 第五章 工艺介绍及制造过程 | 第87-98页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·MEMS加工工艺简介 | 第87-93页 |
| ·清洗技术 | 第87-89页 |
| ·刻蚀技术 | 第89-93页 |
| ·一个典型的的MEMS开关桥梁的工艺过程 | 第93-95页 |
| ·滤波器制作的工艺流程 | 第95-98页 |
| 第六章 总结与展望 | 第98-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-102页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第102页 |
