| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 金属氧化物半导体气敏传感器概述 | 第11-15页 |
| 1.2.1 金属氧化物半导体气敏传感器定义 | 第11页 |
| 1.2.2 金属氧化物气敏传感器的结构及测试电路 | 第11-14页 |
| 1.2.3 金属氧化物半导体气敏传感器的主要特性参数 | 第14-15页 |
| 1.3 Fe_2O_3纳米材料概述 | 第15-19页 |
| 1.3.1 Fe_2O_3的基本性质 | 第15-16页 |
| 1.3.2 Fe_2O_3纳米材料的制备方法 | 第16-18页 |
| 1.3.3 Fe_2O_3纳米材料的应用 | 第18-19页 |
| 1.4 Fe_2O_3气敏传感器概述 | 第19-22页 |
| 1.4.1 Fe_2O_3气敏传感器的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4.2 Fe_2O_3气敏传感器的响应机制 | 第21页 |
| 1.4.3 Fe_2O_3气敏传感器存在的问题和发展方向 | 第21-22页 |
| 1.5 本课题的研究内容 | 第22-23页 |
| 1.6 本论文的创新性 | 第23-24页 |
| 第二章 α-Fe_2O_3纳米颗粒的制备以及在不同工作温度下的气敏性研究 | 第24-40页 |
| 2.1 敏感材料的制备过程 | 第24-25页 |
| 2.1.1 实验原材料 | 第24页 |
| 2.1.2 材料制备过程 | 第24-25页 |
| 2.2 材料表征 | 第25-28页 |
| 2.2.1 结构表征 | 第25-27页 |
| 2.2.2 形貌表征 | 第27-28页 |
| 2.3 气敏性能研究 | 第28-37页 |
| 2.3.1 不同工作温度条件下敏感元件的伏安特性曲线 | 第28-29页 |
| 2.3.2 不同工作温度条件下传感器的响应-恢复现象分析 | 第29-33页 |
| 2.3.3 最佳工作温度条件下的气敏性能研究 | 第33-37页 |
| 2.4 气敏反应机理研究 | 第37-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 孔状 α-Fe_2O_3纳米颗粒制备及室温下气敏性研究 | 第40-56页 |
| 3.1 实验部分 | 第40-41页 |
| 3.1.1 实验原材料 | 第40页 |
| 3.1.2 材料制备过程 | 第40-41页 |
| 3.2 材料表征 | 第41-47页 |
| 3.2.1 结构表征 | 第41-42页 |
| 3.2.2 形貌表征 | 第42-44页 |
| 3.2.3 元素分析 | 第44-47页 |
| 3.3 传感器的电学性能研究 | 第47页 |
| 3.4 传感器的气敏性能研究 | 第47-52页 |
| 3.5 气敏反应机理研究 | 第52-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 基于 α-Fe_2O_3纳米颗粒的氨气传感器制备及性能研究 | 第56-66页 |
| 4.1 α-Fe_2O_3纳米颗粒的制备 | 第56-57页 |
| 4.1.1 实验使用试剂 | 第56页 |
| 4.1.2 材料合成过程 | 第56-57页 |
| 4.2 材料表征 | 第57-59页 |
| 4.2.1 结构表征 | 第57-58页 |
| 4.2.2 形貌表征 | 第58-59页 |
| 4.3 传感器电学性能研究 | 第59页 |
| 4.4 传感器气敏性能研究 | 第59-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 全文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及奖励情况 | 第75-76页 |
| (Ⅰ) 攻读硕士学位期间发表论文 | 第75页 |
| (Ⅱ) 获得奖励 | 第75-76页 |
