| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·研究背景和意义 | 第10-11页 |
| ·集成光学加速度传感器的发展概况及现状 | 第11-21页 |
| ·光强调制型集成光学加速度传感器 | 第12-17页 |
| ·透射式光强调制集成光学加速度传感器 | 第12-15页 |
| ·反射式光强调制集成光学加速度传感器 | 第15页 |
| ·利用衍射光检测的集成光学加速度传感器 | 第15-17页 |
| ·相位调制型集成光学加速度传感器 | 第17-20页 |
| ·Mach-Zehnder 型集成光学加速度传感器 | 第17-18页 |
| ·Fabry-Perot 型集成光学加速度传感器 | 第18-19页 |
| ·Michelson 干涉型集成光学加速度传感器 | 第19-20页 |
| ·波长调制型集成光学加速度传感器 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 基于光弹效应的集成光波导加速度传感器的结构设计和理论分析 | 第23-47页 |
| ·基于光弹效应的集成光波导加速度传感器的结构和工作原理 | 第23-24页 |
| ·双M-Z 干涉结构的铌酸锂脊形光波导结构设计 | 第24-34页 |
| ·铌酸锂质子交换脊形单模波导设计 | 第25-29页 |
| ·双M-Z 干涉仪结构设计 | 第29-30页 |
| ·光束传播法分析双M-Z 干涉仪的光场传输 | 第30-34页 |
| ·有限差分光束传播法（FD-BPM）简介 | 第30页 |
| ·有限差分光束传播法对双M-Z 干涉仪光场传输的模拟仿真 | 第30-32页 |
| ·直流偏置电极设计 | 第32-34页 |
| ·集成光波导加速度传感器的光弹效应特性分析 | 第34-42页 |
| ·加速度作用下铌酸锂质子交换脊形波导的光弹效应 | 第34-42页 |
| ·加速度作用下铌酸锂脊形波导的光弹效应 | 第34-37页 |
| ·加速度作用下铌酸锂脊形波导的模场分析 | 第37-42页 |
| ·基于光弹效应的集成光波导加速度传感器的特性分析 | 第42-46页 |
| ·传感器灵敏度 | 第42-43页 |
| ·传感器的工作频率范围 | 第43-44页 |
| ·加速度作用下传感器的输出特性分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 铌酸锂质子交换脊形波导的制作工艺 | 第47-59页 |
| ·铌酸锂脊结构形成的原理 | 第47页 |
| ·铌酸锂质子交换脊形波导脊结构的制作 | 第47-57页 |
| ·铌酸锂基片的清洗 | 第48-49页 |
| ·光刻 | 第49-50页 |
| ·金属掩膜的涂覆与去除 | 第50-51页 |
| ·质子交换 | 第51-54页 |
| ·交换区域的腐蚀形成脊结构 | 第54-57页 |
| ·实验结果讨论 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 基于M-Z 干涉结构的光纤加速度传感器理论分析 | 第59-66页 |
| ·光纤加速度传感器的系统设计 | 第59-65页 |
| ·光纤M-Z 干涉仪 | 第60页 |
| ·传感器探头的设计 | 第60-65页 |
| ·光纤加速度传感器的特性分析 | 第65页 |
| ·传感器的灵敏度 | 第65页 |
| ·传感器的工作频率范围 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 基于M-Z 干涉结构的光纤加速度传感器实验及分析 | 第66-84页 |
| ·传感器探头的制作 | 第66-67页 |
| ·光纤传感系统主要元件 | 第67-69页 |
| ·光源 | 第67-68页 |
| ·光纤耦合器 | 第68页 |
| ·光电探测单元 | 第68-69页 |
| ·光路的链接 | 第69-73页 |
| ·光路损耗的实验测量 | 第69-71页 |
| ·臂长差的控制 | 第71-72页 |
| ·臂长差的测量 | 第72-73页 |
| ·光纤加速度传感器实验结果和性能分析 | 第73-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 总结 | 第84-86页 |
| ·本论文完成的任务 | 第84-85页 |
| ·有待改进的工作 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 附录 | 第92-98页 |
| 作者攻读硕士期间发表的论文 | 第98-99页 |
