基于Minitab磷扩结深一致性和均匀性数据分析及优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·选题背景 | 第8页 |
| ·国内外动态 | 第8-13页 |
| ·论文的研究内容和研究方法 | 第13-15页 |
| 第二章 扩散设备及工艺基础 | 第15-26页 |
| ·扩散设备 | 第15-20页 |
| ·气源柜 | 第15-16页 |
| ·扩散炉炉体 | 第16页 |
| ·控制操作面板 | 第16-19页 |
| ·净化工作台 | 第19页 |
| ·做片时间和清洗 | 第19-20页 |
| ·工艺基础 | 第20-26页 |
| ·扩散的基础理论 | 第20-22页 |
| ·衬底预扩工艺 | 第22-23页 |
| ·衬底氧化工艺 | 第23-24页 |
| ·衬底主扩工艺 | 第24-26页 |
| 第三章 测试方法及设备 | 第26-30页 |
| ·四探针测方块电阻 | 第26-28页 |
| ·方块电阻 | 第26-27页 |
| ·四探针测试原理 | 第27-28页 |
| ·扩展电阻探针测试 | 第28-29页 |
| ·显微镜测试 | 第29-30页 |
| 第四章 工艺路线选择及实验方案 | 第30-33页 |
| ·工艺流程简介 | 第30页 |
| ·实验方案 | 第30-33页 |
| ·磷源的选择 | 第30-31页 |
| ·扩散温度和扩散时间的选择 | 第31-32页 |
| ·氧气气氛和氮气气氛对扩散的影响 | 第32-33页 |
| 第五章 对温偏的纠正措施 | 第33-44页 |
| ·结深数据的分析 | 第33-35页 |
| ·设备的改善 | 第35-38页 |
| ·Spike 热偶 | 第35-36页 |
| ·炉体保温措施 | 第36-37页 |
| ·炉管内部恒温测量的改善 | 第37-38页 |
| ·温偏改善前后数据对比 | 第38-44页 |
| ·衬底预扩 | 第38-41页 |
| ·衬底主扩 | 第41-44页 |
| 第六章 实验结果以及基于Minitab 分析 | 第44-59页 |
| ·Minitab 软件简介 | 第44页 |
| ·扩散质量的讨论 | 第44-59页 |
| ·气流对扩散的影响 | 第45-46页 |
| ·扩散温度对方块电阻以及浓度分布的影响 | 第46-48页 |
| ·扩散后再分布的影响 | 第48页 |
| ·扩散时间的影响 | 第48-50页 |
| ·源温改变数据对比 | 第50-52页 |
| ·衬底预扩时间和源量改变对比 | 第52-59页 |
| 第七章 工作总结和工作展望 | 第59-61页 |
| ·工作总结 | 第59-60页 |
| ·工作展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
