基于TANNER和SIPOS钝化的功率管终端CAD研究与应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-11页 |
| ·终端研究的意义和现有产品状况 | 第8-9页 |
| ·SIPOS 基本特性 | 第9页 |
| ·试验思路 | 第9-11页 |
| 第二章 主要终端技术介绍 | 第11-17页 |
| ·总述 | 第11页 |
| ·横向变掺杂技术 | 第11-12页 |
| ·场板结构 | 第12-13页 |
| ·金属场板 | 第12页 |
| ·阻性场板 | 第12-13页 |
| ·场限环结构 | 第13页 |
| ·偏移场板结构 | 第13-15页 |
| ·金属场限环 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 反压和双线试验 | 第17-38页 |
| ·SIOPS 钝化工艺特有问题 | 第17页 |
| ·试验对象和初次试验 | 第17-18页 |
| ·组合试验 | 第18-29页 |
| ·试验理论基础和方案 | 第18-19页 |
| ·试验结果 | 第19-26页 |
| ·成品测试 | 第26-29页 |
| ·SOA 测试 | 第29页 |
| ·浅结类试验 | 第29-36页 |
| ·试验方案以及结果 | 第29-34页 |
| ·CB 反压方面影响的讨论 | 第34-36页 |
| ·场限环“宽深比”方面的讨论 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 打火试验 | 第38-42页 |
| ·试验背景 | 第38页 |
| ·基本理论原理 | 第38-39页 |
| ·方案的选取 | 第39页 |
| ·测试结果 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 储存试验 | 第42-57页 |
| ·问题引入 | 第42页 |
| ·原因初探及试验方案的选取 | 第42-44页 |
| ·试验数据收集 | 第44-56页 |
| ·高温储存前数据 | 第44-50页 |
| ·储存后数据 | 第50-56页 |
| ·数据整理及探讨 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 设计软件Tanner 简介 | 第57-62页 |
| ·基本功能介绍 | 第57-58页 |
| ·电路图编辑器S-Edit | 第57页 |
| ·电路图模拟器T-Spice | 第57页 |
| ·版图编辑器L-Edit | 第57-58页 |
| ·版图电路比较器LVS | 第58页 |
| ·软件应用 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第七章 结论 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
