大范围触针扫描表面形貌测量仪的支撑及驱动系统设计

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第8-12页
1.1 表面形貌测量及其研究意义	第8-9页
1.2 表面形貌测量的发展现状及发展趋势	第9-10页
1.3 本文的主要工作	第10-11页
1.4 课题来源	第11-12页
2 传感器支撑结构设计	第12-28页
2.1 触针式表面形貌测量仪的工作原理	第12-13页
2.2 技术指标	第13-14页
2.3 测量仪器的机械结构设计	第14-18页
2.4 关键零件的选型与结构设计	第18-27页
2.5 本章小结	第27-28页
3 仪器的驱动控制系统设计	第28-41页
3.1 驱动控制系统方案	第28-29页
3.2 驱动电机选型	第29-34页
3.3 计量光栅选型	第34页
3.4 运动控制卡选型	第34-36页
3.5 控制箱设计	第36-37页
3.6 控制软件设计	第37-40页
3.7 本章小结	第40-41页
4 系统组装及性能测试	第41-54页
4.1 组装调试	第41-45页
4.2 精度测试	第45-53页
4.3 本章小结	第53-54页
5 误差分析及补偿	第54-60页
5.1 误差分析	第54-55页
5.2 软件法实现误差补偿	第55-59页
5.3 本章小结	第59-60页
6 总结与展望	第60-62页
6.1 全文总结	第60页
6.2 研究展望	第60-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-66页
附录 实验数据附表	第66-69页