| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 MOCVD原位监测系统概述 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外MOCVD原位监测系统发展现状 | 第12-14页 |
| 1.3.1 国外MOCVD原位监测系统发展及现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 国内MOCVD原位监测系统发展及现状 | 第13-14页 |
| 1.4 课题来源及研究目的和意义 | 第14页 |
| 1.5 本论文研究工作和论文安排 | 第14-16页 |
| 1.5.1 本文研究工作 | 第14-15页 |
| 1.5.2 论文安排 | 第15-16页 |
| 第2章 原位监测系统组成原理和总体方案设计 | 第16-26页 |
| 2.1 原位监测系统组成原理 | 第16-19页 |
| 2.1.1 原位监测传感器 | 第16-18页 |
| 2.1.2 信号采集 | 第18页 |
| 2.1.3 信号传输 | 第18-19页 |
| 2.1.4 上位机监测终端 | 第19页 |
| 2.1.5 原位监测系统原理 | 第19页 |
| 2.2 总体方案设计 | 第19-25页 |
| 2.2.1 主要功能和系统框图 | 第19-20页 |
| 2.2.2 硬件方案设计 | 第20-24页 |
| 2.2.3 软件方案设计 | 第24-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 信号采集系统硬件设计 | 第26-50页 |
| 3.1 原位监测信号提取 | 第26-31页 |
| 3.1.1 激光干涉信号 | 第26-29页 |
| 3.1.2 红外辐射信号 | 第29-31页 |
| 3.1.3 石墨盘基座旋转同步信号 | 第31页 |
| 3.2 DSP系统设计 | 第31-38页 |
| 3.2.1 TMS320F28335芯片 | 第32-33页 |
| 3.2.2 DSP最小系统的设计 | 第33-38页 |
| 3.3 A/D模块设计 | 第38-45页 |
| 3.3.1 AD7656的工作原理 | 第39-41页 |
| 3.3.2 AD7656外围电路设计 | 第41-43页 |
| 3.3.3 AD7656与F28335数据交换 | 第43-45页 |
| 3.4 以太网通信接口设计 | 第45-47页 |
| 3.4.2 W5300特性 | 第45页 |
| 3.4.3 W5300外围电路设计 | 第45-46页 |
| 3.4.4 W5300与TMS320F28335控制逻辑设计 | 第46-47页 |
| 3.5 PCB板之间连接设计 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 信号采集系统软件设计 | 第50-76页 |
| 4.1 集成开发环境及DSP软件开发流程 | 第50-55页 |
| 4.1.1 CCS概述 | 第50-51页 |
| 4.1.2 DSP软件开发流程 | 第51-52页 |
| 4.1.3 CCS软件的应用 | 第52-55页 |
| 4.2 CMD文件编写和F28335中断系统 | 第55-59页 |
| 4.2.1 CMD文件编写 | 第55-57页 |
| 4.2.2 F28335中断系统 | 第57-59页 |
| 4.3 主程序设计 | 第59-73页 |
| 4.3.1 AD7656与TMS320F28335控制逻辑程序 | 第61-65页 |
| 4.3.2 XINTF的DMA访问 | 第65-67页 |
| 4.3.3 数字信号处理算法 | 第67-70页 |
| 4.3.4 W5300驱动程序 | 第70-72页 |
| 4.3.5 网络数据传输 | 第72-73页 |
| 4.4 上位机软件设计 | 第73-74页 |
| 4.4.1 TCP客户端 | 第73-74页 |
| 4.4.2 用户界面设计 | 第74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 系统调试 | 第76-81页 |
| 5.1 以太网通信调试 | 第76-77页 |
| 5.1.1 以太网通信调试过程和结果 | 第76-77页 |
| 5.1.2 调试遇到的问题及解决方案 | 第77页 |
| 5.2 AD7656采集模块功能调试 | 第77-79页 |
| 5.3 采集系统联调 | 第79-80页 |
| 5.3.1 系统搭建 | 第79页 |
| 5.3.2 数据采集结果分析 | 第79-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第6章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 全文总结 | 第81页 |
| 6.2 展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第87页 |