无源无线温湿度传感器研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-29页 |
| 1.1 物联网及温湿度监测 | 第10-15页 |
| 1.1.1 物联网及其发展 | 第10-12页 |
| 1.1.2 物联网与温湿度监测 | 第12-15页 |
| 1.2 MEMS传感器与MEMS加工工艺 | 第15-18页 |
| 1.2.1 MEMS传感器 | 第15-16页 |
| 1.2.2 MEMS工艺概述 | 第16-18页 |
| 1.3 无源无线温度湿度传感器 | 第18-27页 |
| 1.3.1 RFID无源无线温度湿度传感器 | 第18-20页 |
| 1.3.2 SAW无源无线温湿传感器 | 第20-21页 |
| 1.3.3 MA无源无线温湿传感器 | 第21-22页 |
| 1.3.4 LC无源无线温度湿度传感器 | 第22-27页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第27-29页 |
| 1.4.1 内容安排 | 第28页 |
| 1.4.2 主要创新点 | 第28-29页 |
| 第二章 LC无源无线传感器设计基础理论 | 第29-46页 |
| 2.1 LC无源无线传感系统的基础理论 | 第29-36页 |
| 2.1.1 LC无源无线传感系统构成 | 第29-31页 |
| 2.1.2 阻抗频率特性曲线 | 第31-35页 |
| 2.1.3 信号无线读出 | 第35-36页 |
| 2.2 LC无源无线传感器设计 | 第36-45页 |
| 2.2.1 LC无源无线传感器电感设计 | 第36-41页 |
| 2.2.2 LC无源无线传感器电容设计 | 第41-44页 |
| 2.2.3 LC无源无线传感器回路设计 | 第44-45页 |
| 2.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 LC无源无线温度传感器分析与设计 | 第46-72页 |
| 3.1 LC无源无线温度传感器结构 | 第46-47页 |
| 3.2 温度敏感电容结构设计与仿真 | 第47-61页 |
| 3.2.1 温度敏感电容基本结构 | 第47-49页 |
| 3.2.2 热动式温敏电容感温原理分析 | 第49-57页 |
| 3.2.3 热动式温敏电容温敏特性有限元仿真 | 第57-61页 |
| 3.3 平面螺旋电感结构设计与仿真 | 第61-63页 |
| 3.4 LC无源无线温度传感器加工与测试 | 第63-71页 |
| 3.4.1 温度敏感电容结构的加工与测试 | 第63-70页 |
| 3.4.2 传感器加工与测试 | 第70-71页 |
| 3.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第四章 LC无源无线温湿度传感器分析与设计 | 第72-105页 |
| 4.1 LC无源无线温湿度传感器理论分析 | 第72-81页 |
| 4.1.1 传感器工作原理 | 第72-73页 |
| 4.1.2 温湿度敏感材料 | 第73-81页 |
| 4.2 LC无源无线温湿度传感器设计 | 第81-84页 |
| 4.2.1 传感器结构设计 | 第81-82页 |
| 4.2.2 加工工艺设计 | 第82-84页 |
| 4.3 温湿度敏感材料电学特性的深入研究 | 第84-100页 |
| 4.3.1 氧化石墨烯电学阻抗特性测试理论 | 第84-85页 |
| 4.3.2 氧化石墨烯的制备与表征 | 第85-88页 |
| 4.3.3 氧化石墨烯的电学阻抗特性测试与分析 | 第88-100页 |
| 4.4 LC无源无线温湿度传感器测试与分析 | 第100-104页 |
| 4.5 本章小结 | 第104-105页 |
| 第五章 总结和展望 | 第105-107页 |
| 5.1 工作总结 | 第105-106页 |
| 5.2 工作展望 | 第106-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-116页 |
| 在学期间发表论文 | 第116-117页 |
