| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外光刻机发展概况 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外光刻机发展概况 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内光刻机的发展概况 | 第12-13页 |
| 1.3 光刻机工件台与掩模台同步控制技术的发展概况 | 第13-15页 |
| 1.3.1 光刻机工件台与掩模台同步控制的必要性 | 第13页 |
| 1.3.2 一般同步控制技术的发展概况 | 第13-14页 |
| 1.3.3 工件台与掩模台同步控制技术发展概况 | 第14-15页 |
| 1.4 迭代学习控制研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4.1 迭代学习控制概述 | 第15页 |
| 1.4.2 迭代学习控制的研究内容 | 第15-16页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 工件台与掩模台同步控制理论 | 第18-28页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 同步控制问题描述 | 第18-19页 |
| 2.2.1 工件台和掩模台的运动同步性 | 第18-19页 |
| 2.2.2 同步控制性能指标 | 第19页 |
| 2.3 同步控制策略 | 第19-22页 |
| 2.3.1 交叉耦合同步控制 | 第20-21页 |
| 2.3.2 主从同步控制 | 第21-22页 |
| 2.4 迭代学习同步控制算法 | 第22-27页 |
| 2.4.1 数学基础 | 第22页 |
| 2.4.2 迭代学习控制的特点 | 第22-24页 |
| 2.4.3 同步控制迭代学习律设计 | 第24-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 同步控制卡硬件设计 | 第28-39页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 步进扫描光刻机控制系统构成 | 第28-29页 |
| 3.3 同步控制卡硬件总体方案 | 第29-32页 |
| 3.4 同步控制卡外设接口设计 | 第32-34页 |
| 3.4.1 VME 总线接口硬件设计 | 第32-33页 |
| 3.4.2 串口的硬件设计 | 第33页 |
| 3.4.3 光纤接口的硬件设计 | 第33-34页 |
| 3.4.4 DA 接口的硬件设计 | 第34页 |
| 3.5 同步控制卡辅助电路设计 | 第34-38页 |
| 3.5.1 时钟电路设计 | 第34-35页 |
| 3.5.2 电源电路设计 | 第35-36页 |
| 3.5.3 DSP 和 FPGA 仿真接口设计 | 第36页 |
| 3.5.4 DSP 和 FPGA 存储扩展电路设计 | 第36-37页 |
| 3.5.5 DSP 和 FPGA 配置诊断电路设计 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 同步控制卡接口逻辑设计 | 第39-63页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 FPGA 逻辑设计的总体方案 | 第39-40页 |
| 4.3 DSP 的 EMIFA 接口逻辑设计 | 第40-44页 |
| 4.3.1 EMIFA 接口工作原理和时序特点 | 第40-42页 |
| 4.3.2 EMIFA 接口逻辑模块设计 | 第42-43页 |
| 4.3.3 EMIF64 逻辑模块实测结果及分析 | 第43-44页 |
| 4.4 VME 总线接口逻辑设计 | 第44-52页 |
| 4.4.1 VME 总线的特点 | 第44-45页 |
| 4.4.2 DTB 子总线协议和时序特点 | 第45-48页 |
| 4.4.3 中断子总线协议和时序特点 | 第48-50页 |
| 4.4.4 VME 总线接口状态机设计 | 第50-52页 |
| 4.4.5 VME 总线逻辑设计实测结果及分析 | 第52页 |
| 4.5 光纤接口逻辑模块设计 | 第52-56页 |
| 4.5.1 光纤接口工作原理和时序特点 | 第52-54页 |
| 4.5.2 光纤接口状态机设计 | 第54-55页 |
| 4.5.3 光纤逻辑模块实测结果及分析 | 第55-56页 |
| 4.6 串口接口逻辑设计 | 第56-58页 |
| 4.6.1 串口协议和时序特点 | 第56页 |
| 4.6.2 串口状态机设计 | 第56-58页 |
| 4.6.3 串口逻辑设计实测结果及分析 | 第58页 |
| 4.7 DA 接口逻辑模块设计 | 第58-61页 |
| 4.7.1 DA 工作原理和时序特点 | 第58-60页 |
| 4.7.2 DA 接口模块设计 | 第60页 |
| 4.7.3 DA 接口逻辑设计实测结果及分析 | 第60-61页 |
| 4.8 VME 自定义总线接口逻辑模块设计 | 第61-62页 |
| 4.8.1 VME 自定义总线逻辑特点与波形 | 第61页 |
| 4.8.2 VME 自定义总线接口逻辑模块设计 | 第61-62页 |
| 4.8.3 VME 自定义总线接口逻辑设计实测结果及分析 | 第62页 |
| 4.9 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 工件台与掩模台同步控制仿真 | 第63-71页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 工件台与掩模台系统的动力学模型 | 第63-65页 |
| 5.2.1 音圈电机及驱动器参数 | 第63-64页 |
| 5.2.2 音圈电机动力学模型 | 第64页 |
| 5.2.3 工件台与掩模台系统的动力学模型 | 第64-65页 |
| 5.3 PID 同步控制仿真 | 第65-68页 |
| 5.3.1 仿真曲线设计 | 第65-66页 |
| 5.3.2 PID 同步控制器的设计 | 第66-68页 |
| 5.4 迭代学习同步控制仿真 | 第68-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
