| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 选题背景与课题的研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 压电材料的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 LGS晶体的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 LGS压电性能的研究 | 第17-35页 |
| 2.1 LGS晶体与石英晶体的结构对比 | 第17-18页 |
| 2.2 LGS与石英晶体压电效应 | 第18-23页 |
| 2.2.1 压电效应微观机理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 压电效应表达式 | 第20-21页 |
| 2.2.3 xy和yx切型晶片压电效应 | 第21-23页 |
| 2.3 LGS压电模量测量方法研究 | 第23-30页 |
| 2.3.1 谐振法测量压电系数 | 第23-24页 |
| 2.3.2 压电系数测量系统构建 | 第24-26页 |
| 2.3.3 压电系数测量装置设计与测量原理 | 第26-29页 |
| 2.3.4 系统的误差 | 第29-30页 |
| 2.4 LGS晶片压电系数 | 第30-34页 |
| 2.4.1 LGS-xy晶片压电系数d_(11)测量 | 第30-32页 |
| 2.4.2 LGS-yx晶片压电系数d_(26)测量 | 第32-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 LGS三向力传感器 | 第35-48页 |
| 3.1 三向力传感器设计 | 第35-37页 |
| 3.1.1 单元晶组的设计 | 第35-36页 |
| 3.1.2 组合晶组测量原理 | 第36-37页 |
| 3.2 LGS三向力传感器制作 | 第37-47页 |
| 3.2.1 晶片切型制备 | 第37-45页 |
| 3.2.2 传感器集成 | 第45-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 LGS传感器与石英传感器性能对比 | 第48-70页 |
| 4.1 传感器的静态性能标定 | 第48-59页 |
| 4.1.1 标定系统及标定步骤 | 第48-50页 |
| 4.1.2 LGS传感器性能 | 第50-55页 |
| 4.1.3 石英传感器性能 | 第55-59页 |
| 4.2 传感器的刚度检定实验 | 第59-63页 |
| 4.2.1 刚度实验原理与实验方法 | 第59-61页 |
| 4.2.2 刚度实验数据处理及结果 | 第61-63页 |
| 4.3 传感器的动态标定实验 | 第63-68页 |
| 4.3.1 法向固有频率 | 第65-67页 |
| 4.3.2 切向固有频率 | 第67-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |