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Cu2O基薄膜制备及其异质结特性研究

摘要第3-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第12-26页
    1.1 课题研究背景第12-15页
    1.2 氧化亚铜的基本特性第15-16页
    1.3 氧化亚铜薄膜的制备方法第16-18页
    1.4 氧化亚铜及其光伏应用第18-20页
    1.5 氧化亚铜薄膜制备及其光伏应用的研究现状第20-23页
    1.6 氧化亚铜薄膜制备及其光伏应用中存在的问题第23-26页
第二章 薄膜制备设备及表征第26-30页
    2.0 磁控溅射原理第26-27页
    2.1 薄膜制备设备第27-28页
    2.2 薄膜制备第28-29页
        2.2.1 实验靶材第28页
        2.2.2 衬底清洗第28-29页
        2.2.3 样品制备第29页
    2.3 样品表征第29-30页
第三章 Cu_2O薄膜制备及其特性分析第30-49页
    3.1 引言第30页
    3.2 脉冲磁控溅射制备Cu_2O薄膜及性能表征第30-41页
        3.2.1 薄膜制备第30-31页
        3.2.2 X射线衍射(XRD)分析第31-34页
        3.2.3 表面形貌(SEM、AFM)分析第34-38页
        3.2.4 光学特性分析第38-41页
    3.3 射频(RF)磁控溅射制备Cu_2O薄膜及性能表征第41-47页
        3.3.1 薄膜制备第41页
        3.3.2 X射线衍射(XRD)分析第41-43页
        3.3.3 扫描电子显微镜(SEM)分析第43页
        3.3.4 光学特性分析第43-45页
        3.3.5 X射线光电子能谱(XPS)分析第45-47页
    3.4 本章小结第47-49页
第四章N掺杂Cu_2O:N薄膜制备及其特性分析第49-66页
    4.1 引言第49-51页
    4.2 Cu_2O:N薄膜制备及性能表征第51-65页
        4.2.1 薄膜制备第51页
        4.2.2 X射线衍射(XRD)分析第51-54页
        4.2.3 原子力显微镜(AFM)分析第54-56页
        4.2.4 光致发光(PL)光谱分析第56-58页
        4.2.5 光学特性分析第58-59页
        4.2.6 X射线光电子能谱(XPS)分析第59-61页
        4.2.7 霍尔效应测试(Hall Effect Measurements)分析第61-65页
    4.3 本章小结第65-66页
第五章 Cu_2O:N异质结制备及其光电特性分析第66-93页
    5.1 引言第66-68页
    5.2 ZnO薄膜制备及性能表征第68-75页
        5.2.1 ZnO的基本特性第68-70页
        5.2.2 薄膜制备第70页
        5.2.3 X射线衍射(XRD)分析第70-71页
        5.2.4 原子力显微镜(AFM)分析第71-72页
        5.2.5 光学特性分析第72-73页
        5.2.6 X射线光电子能谱(XPS)分析第73-75页
    5.3 Al掺杂AZO薄膜制备及性能表征第75-83页
        5.3.1 薄膜制备第75页
        5.3.2 X射线衍射(XRD)分析第75-76页
        5.3.3 原子力显微镜(AFM)分析第76-77页
        5.3.4 光学特性分析第77-79页
        5.3.5 X射线光电子能谱(XPS)分析第79-81页
        5.3.6 霍尔效应测试(Hall Effect Measurements)分析第81-83页
    5.4 Cu_2O:N异质结制备及性能表征第83-91页
        5.4.1 异质结制备第83页
        5.4.2 X射线衍射(XRD)分析第83-84页
        5.4.3 扫描电子显微镜(SEM)分析第84-85页
        5.4.4 光学特性分析第85-88页
        5.4.5 I–V特性分析第88-90页
        5.4.6 外量子效率(EQE)分析第90-91页
    5.5 本章小结第91-93页
第六章 Cu_2O:N异质结性能的理论模拟及分析第93-107页
    6.1 引言第93页
    6.2 SCAPS模拟软件第93-94页
    6.3 太阳能电池的主要参数第94-96页
    6.4 Cu_2O:N异质结性能的理论模拟及分析第96-106页
        6.4.1 异质结模型及参数第96-97页
        6.4.2 异质结性能的理论模拟与分析第97-106页
    6.5 本章小结第106-107页
第七章 结论与展望第107-111页
    7.1 结论第107-108页
    7.2 主要创新点第108-109页
    7.3 展望第109-111页
参考文献第111-129页
博士期间所取得的研究成果及奖励第129-131页
致谢第131页

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