致谢 | 第5-7页 |
摘要 | 第7-8页 |
abstract | 第8页 |
第1章 绪论 | 第17-31页 |
1.1 研究背景 | 第17-19页 |
1.1.1 能源危机 | 第17-18页 |
1.1.2 惯性约束核聚变 | 第18页 |
1.1.3 大口径长焦距透镜系统 | 第18-19页 |
1.2 研究目的 | 第19页 |
1.3 焦距及疵病检测的研究现状 | 第19-29页 |
1.3.1 焦距检测的研究现状 | 第19-23页 |
1.3.2 疵病检测及涡旋相位检测的研究现状 | 第23-29页 |
1.4 论文主要研究内容及创新点 | 第29-31页 |
1.4.1 论文研究内容 | 第29-30页 |
1.4.2 论文创新点 | 第30-31页 |
第2章 基于莫尔条纹波前传感的透镜焦距检测 | 第31-51页 |
2.1 基本理论 | 第31-37页 |
2.1.1 泰伯效应 | 第31-32页 |
2.1.2 莫尔条纹 | 第32-37页 |
2.2 基于平行光及等周期光栅的测量方法 | 第37-43页 |
2.2.1 焦距检测原理 | 第37-40页 |
2.2.2 数值分析 | 第40-43页 |
2.3 基于发散光及不等周期光栅的测量方法 | 第43-49页 |
2.3.1 焦距检测原理 | 第43-45页 |
2.3.2 数值分析 | 第45-48页 |
2.3.3 发散光与平行光长焦距系统的精度对比 | 第48-49页 |
2.4 结论 | 第49-51页 |
第3章 焦距检测的实验及结果 | 第51-81页 |
3.1 实验装置图 | 第51-52页 |
3.2 软件流程及实例 | 第52-53页 |
3.3 建立测量基准光路 | 第53-54页 |
3.4 基本参数的精度验证 | 第54-59页 |
3.4.1 摆台转角精度验证 | 第54-56页 |
3.4.2 光栅尺直线度验证 | 第56页 |
3.4.3 光栅G2移动精度验证 | 第56-58页 |
3.4.4 莫尔条纹测量精度验证 | 第58-59页 |
3.5 基本参数标定与校正 | 第59-68页 |
3.5.1 光栅周期比β值标定 | 第59-60页 |
3.5.2 两光栅距离标定 | 第60页 |
3.5.3 两光栅夹角及莫尔条纹的角度定标 | 第60-64页 |
3.5.4 反射镜安装校正 | 第64-65页 |
3.5.5 组合焦距的非线性校正 | 第65-66页 |
3.5.6 由球差带来的误差的校正 | 第66-68页 |
3.6 实验步骤 | 第68-72页 |
3.7 实验结果 | 第72-77页 |
3.7.1 重复性 | 第72-73页 |
3.7.2 稳定性 | 第73页 |
3.7.3 复现性 | 第73-74页 |
3.7.4 精度 | 第74-77页 |
3.8 分析与讨论 | 第77-79页 |
3.8.1 背景杂光 | 第77-78页 |
3.8.2 振动 | 第78页 |
3.8.3 空气扰动 | 第78页 |
3.8.4 温度 | 第78-79页 |
3.8.5 像差 | 第79页 |
3.9 结论 | 第79-81页 |
第4章 基于涡旋相位波前传感的透镜疵病检测 | 第81-103页 |
4.1 疵病的非连续相位 | 第81-82页 |
4.2 涡旋相位 | 第82-83页 |
4.3 夏克-哈特曼波前传感器工作原理 | 第83-85页 |
4.4 基于相位组合-相关匹配的涡旋相位位置的检测 | 第85-94页 |
4.4.1 暗场分析 | 第86-88页 |
4.4.2 相位倾斜计算 | 第88页 |
4.4.3 相位倾斜组合计算 | 第88-91页 |
4.4.4 相位旋度计算 | 第91-92页 |
4.4.5 相关匹配计算 | 第92-94页 |
4.4.6 坐标转换 | 第94页 |
4.5 基于相位倾斜匹配的涡旋相位拓扑值检测方法 | 第94-102页 |
4.5.1 暗场分析 | 第96页 |
4.5.2 相位倾斜计算 | 第96页 |
4.5.3 相位倾斜匹配计算 | 第96-98页 |
4.5.4 相位倾斜误差分析 | 第98页 |
4.5.5 二次相位倾斜匹配计算 | 第98-102页 |
4.6 结论 | 第102-103页 |
第5章 涡旋相位检测的实验及结果 | 第103-115页 |
5.1 涡旋相位的生成方法 | 第103-104页 |
5.2 实验装置图 | 第104-105页 |
5.3 光路的验证 | 第105-109页 |
5.3.1 入射光的准直性验证 | 第105页 |
5.3.2 空间滤波器口径大小选择 | 第105-106页 |
5.3.3 涡旋相位共轭面的光强分布 | 第106-107页 |
5.3.4 理想涡旋相位位置确认 | 第107-108页 |
5.3.5 涡旋相位的生成质量 | 第108-109页 |
5.4 实验结果 | 第109-112页 |
5.4.1 涡旋相位的位置检测结果 | 第109-111页 |
5.4.2 涡旋相位的拓扑值检测结果 | 第111-112页 |
5.5 分析与讨论 | 第112-113页 |
5.6 结论 | 第113-115页 |
第6章 总结及展望 | 第115-119页 |
6.1 总结 | 第115页 |
6.2 创新点 | 第115-116页 |
6.3 前景展望 | 第116-119页 |
参考文献 | 第119-127页 |
作者简历 | 第127页 |
攻读硕士期间主要科研成果 | 第127-128页 |