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基于波前传感方法的大口径透镜检测技术研究

致谢第5-7页
摘要第7-8页
abstract第8页
第1章 绪论第17-31页
    1.1 研究背景第17-19页
        1.1.1 能源危机第17-18页
        1.1.2 惯性约束核聚变第18页
        1.1.3 大口径长焦距透镜系统第18-19页
    1.2 研究目的第19页
    1.3 焦距及疵病检测的研究现状第19-29页
        1.3.1 焦距检测的研究现状第19-23页
        1.3.2 疵病检测及涡旋相位检测的研究现状第23-29页
    1.4 论文主要研究内容及创新点第29-31页
        1.4.1 论文研究内容第29-30页
        1.4.2 论文创新点第30-31页
第2章 基于莫尔条纹波前传感的透镜焦距检测第31-51页
    2.1 基本理论第31-37页
        2.1.1 泰伯效应第31-32页
        2.1.2 莫尔条纹第32-37页
    2.2 基于平行光及等周期光栅的测量方法第37-43页
        2.2.1 焦距检测原理第37-40页
        2.2.2 数值分析第40-43页
    2.3 基于发散光及不等周期光栅的测量方法第43-49页
        2.3.1 焦距检测原理第43-45页
        2.3.2 数值分析第45-48页
        2.3.3 发散光与平行光长焦距系统的精度对比第48-49页
    2.4 结论第49-51页
第3章 焦距检测的实验及结果第51-81页
    3.1 实验装置图第51-52页
    3.2 软件流程及实例第52-53页
    3.3 建立测量基准光路第53-54页
    3.4 基本参数的精度验证第54-59页
        3.4.1 摆台转角精度验证第54-56页
        3.4.2 光栅尺直线度验证第56页
        3.4.3 光栅G2移动精度验证第56-58页
        3.4.4 莫尔条纹测量精度验证第58-59页
    3.5 基本参数标定与校正第59-68页
        3.5.1 光栅周期比β值标定第59-60页
        3.5.2 两光栅距离标定第60页
        3.5.3 两光栅夹角及莫尔条纹的角度定标第60-64页
        3.5.4 反射镜安装校正第64-65页
        3.5.5 组合焦距的非线性校正第65-66页
        3.5.6 由球差带来的误差的校正第66-68页
    3.6 实验步骤第68-72页
    3.7 实验结果第72-77页
        3.7.1 重复性第72-73页
        3.7.2 稳定性第73页
        3.7.3 复现性第73-74页
        3.7.4 精度第74-77页
    3.8 分析与讨论第77-79页
        3.8.1 背景杂光第77-78页
        3.8.2 振动第78页
        3.8.3 空气扰动第78页
        3.8.4 温度第78-79页
        3.8.5 像差第79页
    3.9 结论第79-81页
第4章 基于涡旋相位波前传感的透镜疵病检测第81-103页
    4.1 疵病的非连续相位第81-82页
    4.2 涡旋相位第82-83页
    4.3 夏克-哈特曼波前传感器工作原理第83-85页
    4.4 基于相位组合-相关匹配的涡旋相位位置的检测第85-94页
        4.4.1 暗场分析第86-88页
        4.4.2 相位倾斜计算第88页
        4.4.3 相位倾斜组合计算第88-91页
        4.4.4 相位旋度计算第91-92页
        4.4.5 相关匹配计算第92-94页
        4.4.6 坐标转换第94页
    4.5 基于相位倾斜匹配的涡旋相位拓扑值检测方法第94-102页
        4.5.1 暗场分析第96页
        4.5.2 相位倾斜计算第96页
        4.5.3 相位倾斜匹配计算第96-98页
        4.5.4 相位倾斜误差分析第98页
        4.5.5 二次相位倾斜匹配计算第98-102页
    4.6 结论第102-103页
第5章 涡旋相位检测的实验及结果第103-115页
    5.1 涡旋相位的生成方法第103-104页
    5.2 实验装置图第104-105页
    5.3 光路的验证第105-109页
        5.3.1 入射光的准直性验证第105页
        5.3.2 空间滤波器口径大小选择第105-106页
        5.3.3 涡旋相位共轭面的光强分布第106-107页
        5.3.4 理想涡旋相位位置确认第107-108页
        5.3.5 涡旋相位的生成质量第108-109页
    5.4 实验结果第109-112页
        5.4.1 涡旋相位的位置检测结果第109-111页
        5.4.2 涡旋相位的拓扑值检测结果第111-112页
    5.5 分析与讨论第112-113页
    5.6 结论第113-115页
第6章 总结及展望第115-119页
    6.1 总结第115页
    6.2 创新点第115-116页
    6.3 前景展望第116-119页
参考文献第119-127页
作者简历第127页
攻读硕士期间主要科研成果第127-128页

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