| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第10-11页 |
| 缩略语对照表 | 第11-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 本论文的研究背景 | 第15-23页 |
| 1.1.1 集成电路的发展 | 第15-16页 |
| 1.1.2 三维集成电路简介 | 第16-18页 |
| 1.1.3 电互连与电TSV | 第18-20页 |
| 1.1.4 光互连与光TSV | 第20-22页 |
| 1.1.5 光TSV的研究现状 | 第22-23页 |
| 1.2 本论文所做工作 | 第23-25页 |
| 第二章 光波导理论基础 | 第25-37页 |
| 2.1 导波射线光学理论 | 第25-29页 |
| 2.1.1 平面光波导概述 | 第25-26页 |
| 2.1.2 媒质中射线光学理论 | 第26-27页 |
| 2.1.3 平面光波导模式条件 | 第27-29页 |
| 2.1.4 平面光波导模式本征方程 | 第29页 |
| 2.2 光波导的电磁理论 | 第29-33页 |
| 2.2.1 Maxwell方程组与边值关系 | 第29-31页 |
| 2.2.2 电磁波的波动方程和亥姆霍兹方程 | 第31页 |
| 2.2.3 平面光波导中模式场的场分布与本征值方程 | 第31-32页 |
| 2.2.4 平面光波导截止厚度和传播模式数 | 第32-33页 |
| 2.3 圆柱形光波导基本解与截止条件 | 第33-34页 |
| 2.4 光波导的损耗 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 光TSV建模与损耗特性研究 | 第37-65页 |
| 3.1 高斯光源简介 | 第38-39页 |
| 3.2 光束传播法简介 | 第39-47页 |
| 3.2.1 FFT-BPM简介 | 第39-40页 |
| 3.2.2 FE-BPM简介 | 第40-41页 |
| 3.2.3 FD-BPM简介 | 第41-47页 |
| 3.3 结构参数及波长对光TSV损耗特性的影响研究 | 第47-54页 |
| 3.3.1 光TSV的建模 | 第47-48页 |
| 3.3.2 芯层直径对光TSV损耗特性的影响 | 第48-50页 |
| 3.3.3 芯层高度对光TSV损耗特性的影响 | 第50-53页 |
| 3.3.4 波长对光TSV损耗特性的影响 | 第53-54页 |
| 3.4 倾斜侧壁对光TSV损耗特性的影响研究 | 第54-57页 |
| 3.4.1 倾斜侧壁光TSV的建模 | 第54-55页 |
| 3.4.2 倾斜侧壁对光TSV损耗特性的影响 | 第55-57页 |
| 3.5 粗糙侧壁对光TSV损耗特性的影响研究 | 第57-60页 |
| 3.5.1 粗糙侧壁光TSV的建模 | 第57-58页 |
| 3.5.2 粗糙侧壁对光TSV损耗特性的影响 | 第58-60页 |
| 3.6 粗糙倾斜侧壁对光TSV损耗特性的影响研究 | 第60-62页 |
| 3.6.1 粗糙倾斜侧壁光TSV的建模 | 第60-61页 |
| 3.6.2 粗糙倾斜侧壁对光TSV损耗特性的影响 | 第61-62页 |
| 3.7 本章小结 | 第62-65页 |
| 第四章 光TSV耦合特性研究 | 第65-77页 |
| 4.1 波导定向耦合简介 | 第65-68页 |
| 4.2 间距对光TSV耦合特性的影响研究 | 第68-70页 |
| 4.2.1 相邻光TSV的建模 | 第68-69页 |
| 4.2.2 间距对光TSV耦合特性的影响 | 第69-70页 |
| 4.3 倾斜侧壁对光TSV耦合特性的影响研究 | 第70-72页 |
| 4.3.1 相邻倾斜侧壁光TSV的建模 | 第70-71页 |
| 4.3.2 倾斜侧壁对光TSV耦合特性的影响 | 第71-72页 |
| 4.4 粗糙侧壁对光TSV耦合特性的影响研究 | 第72-74页 |
| 4.4.1 相邻粗糙侧壁光TSV的建模 | 第72-73页 |
| 4.4.2 粗糙侧壁对光TSV耦合特性的影响 | 第73-74页 |
| 4.5 粗糙倾斜侧壁对光TSV耦合特性的影响研究 | 第74-76页 |
| 4.5.1 相邻粗糙倾斜侧壁光TSV的建模 | 第74-75页 |
| 4.5.2 粗糙倾斜侧壁对光TSV耦合特性的影响 | 第75-76页 |
| 4.6 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 5.1 当前工作总结 | 第77-78页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简介 | 第85-86页 |