单片集成薄膜体声波生化微传感器的数字微流控芯片研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·芯片实验室简介 | 第10-12页 |
| ·数字微流控系统研究现状 | 第12-15页 |
| ·介质上电润湿技术生化领域应用现状 | 第15-17页 |
| ·薄膜体声波器件传感技术研究现状 | 第17-19页 |
| ·本课题的目的及研究内容 | 第19-21页 |
| ·课题的目的和意义 | 第19-20页 |
| ·本论文的研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 集成单芯片设计方法研究及系统方案设计 | 第21-49页 |
| ·介质上电润湿数字微流控芯片的原理与实现 | 第21-24页 |
| ·基本原理 | 第21-22页 |
| ·实现方法 | 第22-24页 |
| ·薄膜体声波传感原理与实现 | 第24-29页 |
| ·基本原理 | 第24-26页 |
| ·实现方法 | 第26-29页 |
| ·集成单芯片设计方案 | 第29-32页 |
| ·微流控驱动与微传感器的单片集成设计 | 第29-30页 |
| ·集成单芯片方案的确定 | 第30-32页 |
| ·关键设计技术 | 第32-45页 |
| ·驱动平台构架 | 第32-34页 |
| ·单芯片集成构架 | 第34页 |
| ·地电极的配置 | 第34-37页 |
| ·驱动电极拓扑结构 | 第37-39页 |
| ·声反射结构 | 第39-45页 |
| ·系统方案设计 | 第45-49页 |
| ·总体设计方案 | 第45-46页 |
| ·集成单芯片模块 | 第46-47页 |
| ·控制电路模块 | 第47页 |
| ·图像与数据采集模块 | 第47-48页 |
| ·图像与数据处理模块 | 第48-49页 |
| 第三章 集成单芯片制造工艺研究 | 第49-68页 |
| ·版图设计 | 第49-51页 |
| ·制造流程 | 第51-52页 |
| ·关键加工技术 | 第52-68页 |
| ·介质层制备 | 第52-56页 |
| ·驱动平台加工的工艺能力验证 | 第56-58页 |
| ·疏水膜图案形成 | 第58-68页 |
| 第四章 集成单芯片性能表征与集成系统生化样品检测 | 第68-91页 |
| ·集成单芯片原型机展示 | 第68-70页 |
| ·数字微流控与微传感器性能表征 | 第70-78页 |
| ·静滴法测量液滴接触角 | 第70-75页 |
| ·微流控驱动特性表征 | 第75-76页 |
| ·微传感器的质量检测极限 | 第76-78页 |
| ·关键测试技术 | 第78-85页 |
| ·湿测模式检测 | 第78-82页 |
| ·数据采集参数设定 | 第82-85页 |
| ·系统的生化样品检测 | 第85-91页 |
| ·微量汞离子溶液的单通道检测 | 第86-89页 |
| ·蛋白溶液的高通量多路复用检测 | 第89-91页 |
| 第五章 集成单芯片检测信号增强特性及机理分析 | 第91-109页 |
| ·集成单芯片信号增强特性的应用 | 第91-93页 |
| ·信噪比和检测极限 | 第91-92页 |
| ·动力学分析 | 第92-93页 |
| ·实验方法 | 第93-96页 |
| ·器件结构 | 第93-94页 |
| ·试剂和材料 | 第94页 |
| ·表面修饰 | 第94-95页 |
| ·检测方案 | 第95-96页 |
| ·检测平台 | 第96页 |
| ·实验结果 | 第96-102页 |
| ·特氟龙掩膜的影响 | 第96-97页 |
| ·微量汞离子溶液检测 | 第97-99页 |
| ·蛋白溶液检测 | 第99-102页 |
| ·动力学模拟分析 | 第102-109页 |
| ·数值模型建模 | 第102-104页 |
| ·解析模型建模 | 第104-105页 |
| ·基于孵化时间积累的信号增强 | 第105-107页 |
| ·信号增强性能的优化 | 第107-109页 |
| 第六章 总结与展望 | 第109-111页 |
| ·论文主要研究内容与成果 | 第109页 |
| ·论文的创新点 | 第109-110页 |
| ·有待解决的问题 | 第110页 |
| ·后期研究工作展望 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-121页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
