MEMS微镜性能测试系统
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究的背景 | 第10-11页 |
| ·光学 MEMS 传感器的分类与应用范围 | 第11-15页 |
| ·光学 MEMS 传感器的分类 | 第11-13页 |
| ·光学 MEMS 传感器的应用范围 | 第13-15页 |
| ·本课题研究的主要工作 | 第15页 |
| ·本论文的章节安排 | 第15-17页 |
| 第二章 MEMS 微镜结构分析 | 第17-21页 |
| ·MEMS 微镜分类 | 第17页 |
| ·电热驱动 MEMS 微镜结构 | 第17-18页 |
| ·电热驱动结构执行器的力学分析 | 第18-20页 |
| ·MEMS 微镜温度补偿分析 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 测试系统总体结构设计 | 第21-24页 |
| ·系统需求与功能分析 | 第21页 |
| ·测试系统总体方案设计 | 第21-23页 |
| ·系统总体结构框图 | 第21-22页 |
| ·系统的硬件结构图 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第四章 测试系统硬件设计与实现 | 第24-34页 |
| ·主控制电路设计 | 第24-27页 |
| ·微处理器介绍 | 第24-25页 |
| ·STM32F103VET6 基本系统设计 | 第25-27页 |
| ·电源电路设计 | 第27-28页 |
| ·驱动模块硬件设计 | 第28-30页 |
| ·驱动电路 | 第28-29页 |
| ·低通滤波电路 | 第29页 |
| ·电压放大电路 | 第29-30页 |
| ·通信模块设计 | 第30-31页 |
| ·PSD 数据采集模块设计 | 第31页 |
| ·电阻测量模块设计 | 第31-32页 |
| ·功能切换电路 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第五章 性能测试系统软件设计 | 第34-53页 |
| ·上位机软件设计 | 第34-44页 |
| ·上位机设计软件 Labview 介绍 | 第34-35页 |
| ·上位机软件整体设计流程 | 第35-36页 |
| ·Labview 上位机前面板介绍 | 第36-37页 |
| ·Labview 通信模块 | 第37-40页 |
| ·串口通信参数配置 | 第37-38页 |
| ·串口写入函数 | 第38-39页 |
| ·串口接收函数 | 第39页 |
| ·通信指令格式 | 第39-40页 |
| ·电压&偏转角测量模块 | 第40-42页 |
| ·电阻测量模块 | 第42页 |
| ·数据保存模块 | 第42-44页 |
| ·下位机软件设计 | 第44-52页 |
| ·MDK4.0 开发环境介绍 | 第44页 |
| ·下位机软件总体框架设计 | 第44-45页 |
| ·SPI 总线接口程序设计 | 第45-49页 |
| ·SPI 接口介绍 | 第45-47页 |
| ·SPI 接口程序设计 | 第47-49页 |
| ·中断子程序设计 | 第49-50页 |
| ·ADC 电压采集子程序设计 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 微镜性能测试结果分析 | 第53-61页 |
| ·电压与偏转角特性 | 第53-56页 |
| ·重复性分析 | 第56-58页 |
| ·频响特性分析 | 第58-60页 |
| ·频率域延时关系 | 第58-59页 |
| ·谐振频率区间测试 | 第59-60页 |
| ·阻抗特性分析 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第七章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·论文总结 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第66-67页 |
| 附录1 系统整体电路图 | 第67-68页 |
| 附录2 系统实物图 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
