用于压痕/划痕测试的多维微力传感器设计与试验研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·多维力传感器研究概况 | 第11-18页 |
| ·国外发展概况 | 第12-15页 |
| ·国内发展概况 | 第15-18页 |
| ·论文主要研究内容 | 第18-21页 |
| 第2章 多维微小力传感器的工作原理 | 第21-31页 |
| ·多维力传感器原理 | 第21页 |
| ·多维力传感器弹性基体关键部件工作原理 | 第21-26页 |
| ·柔性铰链的结构形式分类与材料选取 | 第21-23页 |
| ·柔性铰链柔度计算 | 第23-26页 |
| ·电阻应变片和组桥方式选取 | 第26-27页 |
| ·传感器电阻应变片的选取 | 第26-27页 |
| ·传感器应变片组桥方式选取 | 第27页 |
| ·多维力传感器各项指标参数 | 第27-29页 |
| ·灵敏度与最小分辨率 | 第27-28页 |
| ·回程误差 | 第28页 |
| ·传感器的动态特性 | 第28-29页 |
| ·多维力传感器的空间矩阵 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 两维微小力传感器设计分析 | 第31-43页 |
| ·传感器的设计 | 第31-32页 |
| ·两维微小力传感器的加载标定实验与参数确定 | 第32-34页 |
| ·传感器的单向加载标定实验 | 第32-33页 |
| ·传感器各项参数确定 | 第33-34页 |
| ·两维微小力传感器的加载试验 | 第34-36页 |
| ·传感器加载试验 | 第34-35页 |
| ·实验结果与理论分析结果对比 | 第35-36页 |
| ·误差计算与分析 | 第36页 |
| ·压痕/划痕测试实验 | 第36-41页 |
| ·压痕/划痕测试实验装置搭建 | 第36-37页 |
| ·压痕/划痕测试实验 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 三维微小力传感器的设计研制与实验 | 第43-67页 |
| ·三维微小力传感器的结构设计 | 第43-45页 |
| ·机械本体结构设计 | 第43-44页 |
| ·电阻应变片布片方式设计分析 | 第44-45页 |
| ·弹性基体尺寸设计 | 第45-48页 |
| ·有限元仿真模型的建立 | 第45页 |
| ·弹性体各方向柔性铰链厚度确定 | 第45-47页 |
| ·弹性体的模态分析 | 第47-48页 |
| ·三维微小力传感器的加载标定实验与参数确定 | 第48-52页 |
| ·传感器的单向加载标定实验 | 第48-49页 |
| ·传感器各项参数 | 第49-52页 |
| ·传感器变形的仿真分析与实验对比 | 第52页 |
| ·传感器各向力的耦合/解耦分析 | 第52-55页 |
| ·三维力传感器的耦合分析 | 第52-53页 |
| ·解耦矩阵的推导 | 第53-55页 |
| ·三维微小力传感器的多维力加载实验 | 第55-60页 |
| ·传感器多维力加载实验平台搭建 | 第55页 |
| ·多维力加载实验结果 | 第55-57页 |
| ·三维力传感器维间解耦矩阵的验证 | 第57-59页 |
| ·三维力传感器误差分析 | 第59-60页 |
| ·三维微小力传感器在压痕/划痕测试中的验证试验 | 第60-64页 |
| ·压痕/划痕测试装置 | 第60-61页 |
| ·试验结果分析 | 第61-64页 |
| ·三维力传感器与两维力传感器性能对比分析 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-67页 |
| 第5章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简介及攻读硕士学位取得的科研成果 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
