| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·低温等离子体源介绍 | 第8-11页 |
| ·容性耦合等离子体源 | 第8-9页 |
| ·ECR和Helicon等离子体源 | 第9-10页 |
| ·感应耦合等离子体源 | 第10-11页 |
| ·ICP源与其他源比较的优点 | 第11页 |
| ·感应耦合等离子体的应用及研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文的研究内容和安排 | 第13-14页 |
| 2 柱状感应耦合等离子体氢气放电模型与三维模拟可靠性验证 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·理论模型 | 第14-17页 |
| ·化学反应过程 | 第14-16页 |
| ·理论模型 | 第16-17页 |
| ·二维和三维模拟对比与结果讨论 | 第17-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 会切磁场对感应耦合等离子体放电特性的影响 | 第28-44页 |
| ·引言 | 第28-30页 |
| ·不同磁感应强度对等离子体放电特性的影响 | 第30-37页 |
| ·有磁场存在时压强对等离子体放电特性的影响 | 第37-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 线圈半径对感应耦合等离子体的影响 | 第44-49页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |