| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·镁及镁合金 | 第10-15页 |
| ·镁及镁合金结构 | 第10-11页 |
| ·镁合金的腐蚀行为 | 第11-12页 |
| ·镁合金的表面防护技术 | 第12页 |
| ·AZ31镁合金 | 第12-14页 |
| ·AZ31镁合金的性能及应用 | 第14-15页 |
| ·氮化锆薄膜 | 第15-16页 |
| ·ZrNx(Zirconium Nitrogen)薄膜的研究现状 | 第15-16页 |
| ·ZrNx薄膜的应用 | 第16页 |
| ·常见的几种制备氮化锆薄膜的方法 | 第16-20页 |
| ·化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD) | 第16-18页 |
| ·物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD) | 第18-20页 |
| ·本文的主要研究流程 | 第20-21页 |
| 2 氮化锆薄膜的制备方法 | 第21-30页 |
| ·真空阴极电弧离子镀制备氮化锆薄膜 | 第21-25页 |
| ·真空阴极电弧离子镀的原理 | 第21-23页 |
| ·实验设备 | 第23-24页 |
| ·ZrNx薄膜的制备工艺 | 第24-25页 |
| ·中频磁控溅射制备氮化锆薄膜 | 第25-30页 |
| ·中频磁控溅射的原理 | 第25-27页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·ZrNx薄膜的制备工艺 | 第28-30页 |
| 3 氮化锆薄膜的表征 | 第30-37页 |
| ·台阶仪 | 第30-32页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第32-33页 |
| ·电化学腐蚀 | 第33-34页 |
| ·摩擦系数 | 第34-35页 |
| ·表面划痕 | 第35-36页 |
| ·薄膜的硬度测量 | 第36-37页 |
| 4 AZ31镁合金真空阴极离子镀制备ZrNx薄膜性能的研究 | 第37-47页 |
| ·ZrNx薄膜的结构分析 | 第37-40页 |
| ·薄膜的沉积速率 | 第37-38页 |
| ·薄膜表面粗糙度 | 第38-40页 |
| ·XRD谱 | 第40页 |
| ·耐腐蚀性能的分析 | 第40-43页 |
| ·表面腐蚀形貌 | 第40-42页 |
| ·电化学腐蚀极化曲线 | 第42-43页 |
| ·力学性能的分析 | 第43-46页 |
| ·摩擦系数 | 第43-44页 |
| ·结合强度 | 第44-45页 |
| ·努氏硬度 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 AZ31镁合金中频磁控溅射氮化锆薄膜性能的研究 | 第47-59页 |
| ·ZrNx薄膜的结构分析 | 第47-51页 |
| ·沉积速率 | 第47-48页 |
| ·表面粗糙度 | 第48-50页 |
| ·XRD谱 | 第50-51页 |
| ·耐腐蚀性的分析 | 第51-54页 |
| ·表面腐蚀形貌 | 第51-52页 |
| ·电化学腐蚀极化曲线 | 第52-54页 |
| ·力学性能的分析 | 第54-57页 |
| ·摩擦系数 | 第54-56页 |
| ·结合强度 | 第56页 |
| ·努氏硬度 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
