光刻机专用硅片传输机器人的设计与分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·国内外硅片传输机器人的发展现状及分析 | 第8-12页 |
| ·硅片传输机器人领域现状 | 第8-9页 |
| ·国内外硅片传输机器人的研究现状 | 第9-12页 |
| ·硅片传输机器人研究的技术特点 | 第12-13页 |
| ·课题来源和主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·课题的来源 | 第13页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 硅片传输机器人构型及操作臂机构分析 | 第15-29页 |
| ·硅片传输机器人构型的研究 | 第15-19页 |
| ·硅片传输机器人的功能需求 | 第15-16页 |
| ·机器人学范畴基本构型特征分析 | 第16-18页 |
| ·产品调研数据分析 | 第18页 |
| ·硅片传输机器人构型确定 | 第18-19页 |
| ·机器人操作臂的运动学与动力学分析 | 第19-27页 |
| ·常用直线运动机构 | 第19-21页 |
| ·直线伸缩运动模型的建立 | 第21-22页 |
| ·硅片传输机器人操作臂的运动学分析 | 第22-25页 |
| ·硅片传输机器人操作臂的动力学分析 | 第25-27页 |
| ·硅片传输机器人的基本方案与技术参数 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 硅片传输机器人机械结构设计 | 第29-43页 |
| ·机械结构设计的基本原则 | 第29-30页 |
| ·提高洁净度 | 第29页 |
| ·提高工作速度和定位精度 | 第29页 |
| ·提高可靠性和适应性 | 第29-30页 |
| ·机器人 R 向直线传输动作实现 | 第30-35页 |
| ·R 向直线运动部件结构设计 | 第30-31页 |
| ·R 向驱动及传动结构设计 | 第31-33页 |
| ·R 向机械设计的主要特点 | 第33-35页 |
| ·机器人Z 向升降运动的实现 | 第35-40页 |
| ·Z 向驱动、传动设计及计算 | 第35-39页 |
| ·Z 向导向及整体框架结构设计 | 第39-40页 |
| ·机器人θ向旋转运动实现 | 第40-41页 |
| ·机器人Y 向直线运动的实现 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 虚拟样机仿真与振动分析 | 第43-67页 |
| ·虚拟样机的建立 | 第43-47页 |
| ·ADAMS 与Pro/E 的联合使用 | 第43-44页 |
| ·Pro/E 模型的建立及装配 | 第44-45页 |
| ·利用MECH /Pro 接口进行模型转化 | 第45-46页 |
| ·ADAMS/view 下虚拟样机模型的建立 | 第46-47页 |
| ·基于虚拟样机的仿真分析 | 第47-51页 |
| ·机械系统基本运动功能仿真 | 第47-49页 |
| ·机械系统动力学性能与伺服电机选型 | 第49-51页 |
| ·臂体及同步带柔性传动的振动分析 | 第51-66页 |
| ·臂体刚柔混合模型振动分析 | 第51-60页 |
| ·R 向带传动振动分析与控制 | 第60-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
