| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 概要 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·二氧化钒的相变原理及特性 | 第8-11页 |
| ·薄膜主要制备方法简介及其比较 | 第11-12页 |
| ·二氧化钒的应用 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 二氧化钒薄膜制备 | 第14-19页 |
| ·准备衬底 | 第14-15页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第15-16页 |
| ·样品成品 | 第16-17页 |
| ·制作器件电极 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 样品性能测试 | 第19-40页 |
| ·测试原理 | 第19-21页 |
| ·不加电场测试 | 第21-36页 |
| ·外加电场测试 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 红外吸收特性模拟 | 第40-55页 |
| ·器件模型及材料光学常数 | 第40-46页 |
| ·菲涅尔系数矩阵法 | 第46-48页 |
| ·模拟结果及分析 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 总结 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第63页 |