摘要 | 第1-3页 |
Abstract | 第3-5页 |
中文文摘 | 第5-8页 |
第1章 绪论 | 第8-16页 |
·前言 | 第8页 |
·ITO薄膜的基本性质 | 第8-10页 |
·ITO薄膜的发展和研究现状 | 第10-13页 |
·ITO薄膜的应用 | 第13-14页 |
·本论文的研究内容 | 第14-16页 |
第2章 利用全部透射光谱数据计算薄膜的光学常数和厚度 | 第16-27页 |
·引言 | 第16页 |
·计算方法 | 第16-18页 |
·实验与测量 | 第18-20页 |
·结果与讨论 | 第20-26页 |
·本章小结 | 第26-27页 |
第3章 从透射光谱计算 ITO薄膜的光学常数和厚度的新方法 | 第27-37页 |
·引言 | 第27-28页 |
·实验过程 | 第28页 |
·光学模型 | 第28-30页 |
·结果与讨论 | 第30-36页 |
·本章小结 | 第36-37页 |
第4章 氮气中退火对直流磁控溅射ITO薄膜性质的影响 | 第37-44页 |
·引言 | 第37页 |
·实验过程 | 第37-38页 |
·结果与讨论 | 第38-43页 |
·本章小结 | 第43-44页 |
第5章 掺钛氧化铟透明导电薄膜的制备及其特性的初步研究 | 第44-51页 |
·引言 | 第44-45页 |
·实验过程 | 第45页 |
·结果与讨论 | 第45-50页 |
·本章小结 | 第50-51页 |
结论 | 第51-53页 |
参考文献 | 第53-60页 |
攻读学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第60-61页 |
致谢 | 第61-62页 |
个人简历 | 第62-63页 |