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IrO2/n-ZnO接触电学特性的研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-7页
第一章 前言第7-17页
   ·金属-半导体接触第7-10页
   ·氧化锌材料的基本特性第10-11页
   ·金属-ZnO 半导体接触研究现状第11-17页
     ·欧姆接触第11-13页
     ·肖特基接触(整流接触)第13-17页
第二章 实验设备和表征方法简介第17-24页
   ·实验设备第17-19页
     ·热退火装置第17-18页
     ·电压电流源第18-19页
   ·表征方法第19-24页
     ·X 射线衍射原理第19-20页
     ·Van der Pauw 法测试原理第20-21页
     ·透射反射谱第21-22页
     ·I-V 特性测量第22-24页
第三章 IrO_2/n-ZnO接触结构制备第24-26页
   ·IrO_2 薄膜制备第24-25页
   ·IrO_2/n-ZnO接触结构的制备第25-26页
第四章 IrO_2/n-ZnO接触微结构及其电学特性第26-33页
   ·IrO_2薄膜结构及特性表征第26-28页
     ·IrO_2 薄膜X射线衍射谱第26-27页
     ·IrO_2 薄膜透射光谱第27页
     ·IrO_2 薄膜电学特性研究第27-28页
   ·IrO_2/n-ZnO结构及特性表征第28-33页
     ·IrO_2/n-ZnO结构ZnO薄膜X射线衍射谱第28-29页
     ·IrO_2/n-ZnO接触I-V特性测量第29-31页
     ·IrO_2/n-ZnO结构热稳定性研究第31-33页
第五章 结论第33-34页
参考文献第34-36页
致谢第36页

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