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金刚石涂层工具制备及其应用研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-17页
第一章 绪论第17-35页
   ·本课题的来源第17页
   ·本课题选题意义第17-19页
   ·金刚石薄膜材料概述第19-20页
     ·金刚石晶体结构及形态第19页
     ·金刚石薄膜材料的优异特性第19-20页
   ·CVD 金刚石薄膜的制备原理第20-24页
     ·CVD金刚石膜的制备反应机理第21-22页
     ·CVD 金刚石薄膜的制备方法第22-24页
   ·CVD 金刚石涂层刀具技术的研究状况第24-28页
     ·常规CVD 金刚石膜在硬质合金刀具上的研究状况第24-26页
     ·超细颗粒金刚石涂层与纳米金刚石涂层刀具的研究状况第26-28页
     ·CVD 类金刚石涂层刀具第28页
   ·内孔涂层技术的发展趋势第28-30页
     ·CVD 金刚石涂层硬质合金拉拔模具第28-29页
     ·CVD 金刚石细长管第29-30页
   ·影响CVD 金刚石涂层工具性能的主要因素分析第30-31页
     ·影响金刚石薄膜附着力的主要原因第30-31页
     ·影响金刚石涂层工具表面粗糙度的主要原因第31页
   ·本文的结构框架和主要研究内容第31-35页
第二章 金刚石薄膜沉积非平衡热力学耦合模型及影响因素研究第35-68页
   ·引言第35页
   ·非平衡热力学耦合模型第35-42页
     ·非平衡热力学耦合反应方程第36-37页
     ·金刚石薄膜生长中的反应势垒第37-42页
   ·金刚石薄膜的制备及表征方法第42页
   ·热丝CVD 金刚石薄膜制备及其性能表征第42-50页
     ·衬底预处理第43-45页
     ·碳源浓度对金刚石薄膜质量的影响第45-47页
     ·衬底温度对金刚石薄膜质量的影响第47-49页
     ·反应压力对金刚石薄膜质量的影响第49-50页
   ·热丝CVD 法制备纳米金刚石薄膜及其性能表征第50-64页
     ·实验方法第50-51页
     ·衬底的预处理第51-52页
     ·Ar 浓度对纳米金刚石薄膜质量的影响第52-59页
     ·沉积温度对纳米金刚石薄膜表面形貌第59-60页
     ·反应压力对纳米金刚石薄膜质量的影响第60-62页
     ·优化条件下纳米金刚石薄膜表面质量第62-64页
   ·纳米金刚石薄膜性能的摩擦磨损试验研究第64-66页
   ·本章小结第66-68页
第三章 硬质合金CVD 金刚石涂层刀片的制备及应用第68-90页
   ·引言第68页
   ·热丝CVD 法制备硬质合金CVD 金刚石涂层刀片的研究第68-75页
     ·试验方法第68-70页
     ·试验结果与分析第70-75页
   ·可转位槽形车刀片金刚石涂层制备及其试验研究第75-78页
     ·金刚石薄膜沉积与表征第75-77页
     ·切削试验第77-78页
   ·热丝CVD(HFCVD)法制备低粗糙度金刚石涂层刀具第78-88页
     ·实验方法第78-79页
     ·衬底预处理及检测分析第79-84页
     ·实验结果及分析第84-88页
   ·本章小结第88-90页
第四章 整体式硬质合金金刚石涂层刀具的制备及应用第90-117页
   ·引言第90页
   ·整体式硬质合金CVD金刚石涂层刀具设备改进第90-93页
   ·整体式硬质合金刀具金刚石薄膜的制备第93-109页
     ·衬底预处理及实验方法第93-94页
     ·常规粗大颗粒金刚石涂层钻头质量分析第94-97页
     ·超细晶粒金刚石复合涂层钻头质量分析第97-98页
     ·整体式硬质合金钻头切削试验研究第98-104页
     ·金刚石涂层键槽铣刀的制备及切削试验研究第104-108页
     ·金刚石涂层磨损分析第108-109页
   ·微小整体式硬质合金刀具类金刚石涂层的制备及切削试验研究第109-115页
     ·微小刀具类金刚石涂层的制备第110-111页
     ·切削性能试验第111页
     ·切削结果分析第111-115页
   ·本章小结第115-117页
第五章 拉拔模具内孔金刚石涂层的制备及应用第117-147页
   ·引言第117页
   ·孔型优化设计第117-133页
     ·拉拔模具的孔型简介第117-119页
     ·拉拔模具的几何模型第119页
     ·拉拔模具工作锥高度的优化设计第119-123页
     ·拉拔模具工作锥半角的优化设计第123-129页
     ·拉拔模具定径带长度的优化设计第129-133页
   ·拉拔模具内孔表面制备纳米金刚石薄膜第133-141页
     ·试验原理和方法第133页
     ·拉拔模具内孔表面纳米金刚石薄膜的制备工艺第133-135页
     ·拉拔模具内孔表面纳米金刚石薄膜结构及性能检测第135-141页
   ·纳米金刚石涂层拉拔模具的应用第141-145页
   ·本章小结第145-147页
第六章 自支撑金刚石细长管的开发及应用第147-166页
   ·引言第147-148页
   ·圆柱形钨丝衬底上金刚石薄膜制备工艺研究第148-154页
     ·金刚石管沉积装置的改进第148页
     ·衬底的选择、预处理及沉积参数第148-150页
     ·沉积质量研究第150-154页
   ·高质量内孔低粗糙度金刚石管的制备研究第154-162页
     ·钨丝衬底的预处理方法研究第154-155页
     ·圆柱形钨丝衬底上高质量金刚石薄膜制备工艺研究第155-159页
     ·钨丝衬底去除方法研究第159-160页
     ·金刚石管质量性能表征第160-162页
   ·粘结剂的研制第162-165页
     ·环氧树脂第162-163页
     ·环氧树脂的改性第163-164页
     ·粘结表面处理第164-165页
   ·本章小结第165-166页
第七章 结论与展望第166-170页
   ·本文的主要结论和所做的主要工作第166-168页
   ·本文主要创新点第168-169页
   ·下一步研究工作的重点第169-170页
参考文献第170-179页
攻读博士学位期间公开发表的论文及所申请专利第179-183页
致谢第183-184页
附录第184-191页

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