摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-17页 |
第一章 绪论 | 第17-35页 |
·本课题的来源 | 第17页 |
·本课题选题意义 | 第17-19页 |
·金刚石薄膜材料概述 | 第19-20页 |
·金刚石晶体结构及形态 | 第19页 |
·金刚石薄膜材料的优异特性 | 第19-20页 |
·CVD 金刚石薄膜的制备原理 | 第20-24页 |
·CVD金刚石膜的制备反应机理 | 第21-22页 |
·CVD 金刚石薄膜的制备方法 | 第22-24页 |
·CVD 金刚石涂层刀具技术的研究状况 | 第24-28页 |
·常规CVD 金刚石膜在硬质合金刀具上的研究状况 | 第24-26页 |
·超细颗粒金刚石涂层与纳米金刚石涂层刀具的研究状况 | 第26-28页 |
·CVD 类金刚石涂层刀具 | 第28页 |
·内孔涂层技术的发展趋势 | 第28-30页 |
·CVD 金刚石涂层硬质合金拉拔模具 | 第28-29页 |
·CVD 金刚石细长管 | 第29-30页 |
·影响CVD 金刚石涂层工具性能的主要因素分析 | 第30-31页 |
·影响金刚石薄膜附着力的主要原因 | 第30-31页 |
·影响金刚石涂层工具表面粗糙度的主要原因 | 第31页 |
·本文的结构框架和主要研究内容 | 第31-35页 |
第二章 金刚石薄膜沉积非平衡热力学耦合模型及影响因素研究 | 第35-68页 |
·引言 | 第35页 |
·非平衡热力学耦合模型 | 第35-42页 |
·非平衡热力学耦合反应方程 | 第36-37页 |
·金刚石薄膜生长中的反应势垒 | 第37-42页 |
·金刚石薄膜的制备及表征方法 | 第42页 |
·热丝CVD 金刚石薄膜制备及其性能表征 | 第42-50页 |
·衬底预处理 | 第43-45页 |
·碳源浓度对金刚石薄膜质量的影响 | 第45-47页 |
·衬底温度对金刚石薄膜质量的影响 | 第47-49页 |
·反应压力对金刚石薄膜质量的影响 | 第49-50页 |
·热丝CVD 法制备纳米金刚石薄膜及其性能表征 | 第50-64页 |
·实验方法 | 第50-51页 |
·衬底的预处理 | 第51-52页 |
·Ar 浓度对纳米金刚石薄膜质量的影响 | 第52-59页 |
·沉积温度对纳米金刚石薄膜表面形貌 | 第59-60页 |
·反应压力对纳米金刚石薄膜质量的影响 | 第60-62页 |
·优化条件下纳米金刚石薄膜表面质量 | 第62-64页 |
·纳米金刚石薄膜性能的摩擦磨损试验研究 | 第64-66页 |
·本章小结 | 第66-68页 |
第三章 硬质合金CVD 金刚石涂层刀片的制备及应用 | 第68-90页 |
·引言 | 第68页 |
·热丝CVD 法制备硬质合金CVD 金刚石涂层刀片的研究 | 第68-75页 |
·试验方法 | 第68-70页 |
·试验结果与分析 | 第70-75页 |
·可转位槽形车刀片金刚石涂层制备及其试验研究 | 第75-78页 |
·金刚石薄膜沉积与表征 | 第75-77页 |
·切削试验 | 第77-78页 |
·热丝CVD(HFCVD)法制备低粗糙度金刚石涂层刀具 | 第78-88页 |
·实验方法 | 第78-79页 |
·衬底预处理及检测分析 | 第79-84页 |
·实验结果及分析 | 第84-88页 |
·本章小结 | 第88-90页 |
第四章 整体式硬质合金金刚石涂层刀具的制备及应用 | 第90-117页 |
·引言 | 第90页 |
·整体式硬质合金CVD金刚石涂层刀具设备改进 | 第90-93页 |
·整体式硬质合金刀具金刚石薄膜的制备 | 第93-109页 |
·衬底预处理及实验方法 | 第93-94页 |
·常规粗大颗粒金刚石涂层钻头质量分析 | 第94-97页 |
·超细晶粒金刚石复合涂层钻头质量分析 | 第97-98页 |
·整体式硬质合金钻头切削试验研究 | 第98-104页 |
·金刚石涂层键槽铣刀的制备及切削试验研究 | 第104-108页 |
·金刚石涂层磨损分析 | 第108-109页 |
·微小整体式硬质合金刀具类金刚石涂层的制备及切削试验研究 | 第109-115页 |
·微小刀具类金刚石涂层的制备 | 第110-111页 |
·切削性能试验 | 第111页 |
·切削结果分析 | 第111-115页 |
·本章小结 | 第115-117页 |
第五章 拉拔模具内孔金刚石涂层的制备及应用 | 第117-147页 |
·引言 | 第117页 |
·孔型优化设计 | 第117-133页 |
·拉拔模具的孔型简介 | 第117-119页 |
·拉拔模具的几何模型 | 第119页 |
·拉拔模具工作锥高度的优化设计 | 第119-123页 |
·拉拔模具工作锥半角的优化设计 | 第123-129页 |
·拉拔模具定径带长度的优化设计 | 第129-133页 |
·拉拔模具内孔表面制备纳米金刚石薄膜 | 第133-141页 |
·试验原理和方法 | 第133页 |
·拉拔模具内孔表面纳米金刚石薄膜的制备工艺 | 第133-135页 |
·拉拔模具内孔表面纳米金刚石薄膜结构及性能检测 | 第135-141页 |
·纳米金刚石涂层拉拔模具的应用 | 第141-145页 |
·本章小结 | 第145-147页 |
第六章 自支撑金刚石细长管的开发及应用 | 第147-166页 |
·引言 | 第147-148页 |
·圆柱形钨丝衬底上金刚石薄膜制备工艺研究 | 第148-154页 |
·金刚石管沉积装置的改进 | 第148页 |
·衬底的选择、预处理及沉积参数 | 第148-150页 |
·沉积质量研究 | 第150-154页 |
·高质量内孔低粗糙度金刚石管的制备研究 | 第154-162页 |
·钨丝衬底的预处理方法研究 | 第154-155页 |
·圆柱形钨丝衬底上高质量金刚石薄膜制备工艺研究 | 第155-159页 |
·钨丝衬底去除方法研究 | 第159-160页 |
·金刚石管质量性能表征 | 第160-162页 |
·粘结剂的研制 | 第162-165页 |
·环氧树脂 | 第162-163页 |
·环氧树脂的改性 | 第163-164页 |
·粘结表面处理 | 第164-165页 |
·本章小结 | 第165-166页 |
第七章 结论与展望 | 第166-170页 |
·本文的主要结论和所做的主要工作 | 第166-168页 |
·本文主要创新点 | 第168-169页 |
·下一步研究工作的重点 | 第169-170页 |
参考文献 | 第170-179页 |
攻读博士学位期间公开发表的论文及所申请专利 | 第179-183页 |
致谢 | 第183-184页 |
附录 | 第184-191页 |