| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·制造车间调度问题 | 第11-13页 |
| ·半导体制造工艺及其特点 | 第13-17页 |
| ·半导体生产车间常用术语 | 第17-18页 |
| ·文章结构安排 | 第18-19页 |
| 第二章 半导体生产车间的仿真 | 第19-39页 |
| ·离散事件系统仿真的流程 | 第19-21页 |
| ·半导体生产车间的数据采集与建模 | 第21-25页 |
| ·半导体生产车间的软件仿真 | 第25-31页 |
| ·仿真软件的模块与实现 | 第31-34页 |
| ·仿真结果与分析 | 第34-39页 |
| 第三章 基于仿真模型的规则研究与仿真分析 | 第39-56页 |
| ·投料控制与投料策略 | 第39-40页 |
| ·派工控制与派工规则 | 第40-42页 |
| ·各种投料策略与派工规则在 set7 数据集下的仿真结果分析 | 第42-49页 |
| ·派工规则比较 | 第49-52页 |
| ·基于数据集SET1 的各种投料策略与派工规则的仿真结果分析 | 第52-54页 |
| ·投料策略和派工规则分析 | 第54-56页 |
| 第四章 遗传算法在半导体生产线调度中的应用 | 第56-70页 |
| ·遗传算法与自然选择 | 第56-58页 |
| ·基于遗传算法的调度策略 | 第58-65页 |
| ·基于遗传算法的拥塞控制 | 第65-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·主要研究内容 | 第70页 |
| ·主要创新之处 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |