| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·本课题国内外研究现状 | 第12-18页 |
| ·接触式测量方法 | 第12-14页 |
| ·光学测量方法 | 第14-15页 |
| ·非光学式扫描显微镜方法 | 第15-17页 |
| ·各种测量方法的比较 | 第17-18页 |
| ·本文的主要研究内容及创新 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 光学原理及相关控制 | 第20-28页 |
| ·像散法基本原理 | 第20-24页 |
| ·光路的设计 | 第24-25页 |
| ·光学头的输出功率控制 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 伺服执行系统 | 第28-46页 |
| ·音圈电机伺服系统 | 第28-39页 |
| ·音圈电机等效模型 | 第30-32页 |
| ·电压控制模式 | 第32页 |
| ·电流控制模式 | 第32-33页 |
| ·比例积分微分控制(PID control) | 第33-39页 |
| ·主轴电机伺服系统 | 第39-42页 |
| ·主轴电机伺服简介 | 第39页 |
| ·主轴伺服的分析及实现 | 第39-42页 |
| ·给进步进电机系统 | 第42-45页 |
| ·步进电机的应用 | 第42-45页 |
| ·步进电机的控制 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 测量的控制系统 | 第46-58页 |
| ·控制系统简介 | 第46-47页 |
| ·单片机的选型 | 第47-48页 |
| ·单片机与外部存储电路的设计 | 第48-52页 |
| ·单片机与A/D 转换电路的设计 | 第52-53页 |
| ·单片机与微机的数据交换 | 第53-57页 |
| ·EPP 协议 | 第54页 |
| ·EPP 引脚定义 | 第54-55页 |
| ·EPP 接口时序 | 第55-56页 |
| ·EPP 寄存器定义 | 第56-57页 |
| ·EPP 接口电路 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 系统软件设计和数据处理 | 第58-71页 |
| ·单片机程序设计 | 第59-60页 |
| ·PC 机的通讯设置 | 第60-61页 |
| ·VISUAL BASIC 界面设计 | 第61-64页 |
| ·数据处理与分析 | 第64-68页 |
| ·Matlab 的使用 | 第64-65页 |
| ·Visual Basic6.0 与MATLAB6.5 的混合编程 | 第65-68页 |
| ·基于Matlab 的数据分析 | 第68页 |
| ·测量结果和误差分析 | 第68-70页 |
| ·表面粗糙度的描述方法 | 第68-70页 |
| ·表面粗糙度的计算方法 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结束语 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第77页 |