| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·凸非球面检测方法及其发展 | 第13-20页 |
| ·工艺面检测法 | 第13-14页 |
| ·无像差点法 | 第14-16页 |
| ·补偿法 | 第16-17页 |
| ·全息法 | 第17-19页 |
| ·光学全息法 | 第17-18页 |
| ·计算全息法 | 第18-19页 |
| ·折衍混合式检测法 | 第19-20页 |
| ·论文的目的 | 第20-21页 |
| ·本论文的结构 | 第21-22页 |
| 第二章 大孔径、深度凹非球面的检测 | 第22-35页 |
| ·非球面的基础知 | 第22-25页 |
| ·非球面定义 | 第22页 |
| ·非球面的光学性质 | 第22-25页 |
| ·与法线有关的重要性质 | 第23-24页 |
| ·非球面的非球面度 | 第24-25页 |
| ·大口径、深度凹非球面的检测系统 | 第25-34页 |
| ·被检测凹非球面的参数和特性 | 第25-27页 |
| ·检测原理及检测系统的设计 | 第27-31页 |
| ·检测原理 | 第27-28页 |
| ·设计结果 | 第28-31页 |
| ·检测系统的分析 | 第31-34页 |
| ·计算全息图(CGH)的位相函数 | 第31-32页 |
| ·计算全息图(CGH)的衍射特性 | 第32-33页 |
| ·干涉条文对比度 | 第33-34页 |
| ·小节 | 第34-35页 |
| 第三章 利用曲面计算全息图检测大口径凸非球面 | 第35-80页 |
| ·检测系统的理论分析及设计 | 第35-48页 |
| ·理论分析 | 第35-40页 |
| ·检测系统的设计 | 第40-48页 |
| ·待测凸非球面的参数及特性 | 第40-41页 |
| ·计带有计算全息图的参考球面 | 第41-44页 |
| ·设计照明系统 | 第44-45页 |
| ·设计成像系统 | 第45-46页 |
| ·检测系统的总体结构 | 第46-47页 |
| ·检测系统的装调公差 | 第47-48页 |
| ·计算全息图的制作 | 第48-57页 |
| ·计算全息图位相的量化 | 第48-49页 |
| ·计算全息图的环带占空比 | 第49-51页 |
| ·制作曲面计算全息图 | 第51-54页 |
| ·计算全息图制作误差分析以及对检测结果的影响 | 第54-57页 |
| ·局部周期与设计程函的关系 | 第54-55页 |
| ·径向制作误差和局部周期误差、设计程函误差的关系 | 第55-56页 |
| ·计算全息图位置误差的几种类型 | 第56-57页 |
| ·位置误差对检测结果的影响 | 第57页 |
| ·简化检测系统结构 | 第57-61页 |
| ·原检测系统的搭建 | 第57-58页 |
| ·Zygo 干涉仪的结构 | 第58页 |
| ·简化后的系统结构以及调整方法 | 第58-59页 |
| ·采用简化装置检测凸非球面的检测结果 | 第59-61页 |
| ·干涉图中心亮斑的消除 | 第61-71页 |
| ·采用两种不同孔径的滤波光阑分两步全孔径检测凸非球面 | 第61-66页 |
| ·理论分析 | 第61-64页 |
| ·实验结果 | 第64-66页 |
| ·利用特殊的曲面计算全息图全孔径检测凸非球面 | 第66-71页 |
| ·理论分析 | 第66-67页 |
| ·特殊计算全息图的设计过 | 第67-71页 |
| ·消除检测结果中的各误差源 | 第71-78页 |
| ·误差分析 | 第72-76页 |
| ·检测结果中的误差源 | 第72页 |
| ·装调误差 | 第72-74页 |
| ·误差消除方法 | 第74-76页 |
| ·实验检测结果 | 第76-78页 |
| ·小节 | 第78-80页 |
| 第四章 非球面的绝对检测 | 第80-96页 |
| ·平面和球面的绝对检测方法 | 第80-82页 |
| ·非球绝对检测 | 第82-95页 |
| ·类剪切法 | 第82-83页 |
| ·Twin-CGH 法 | 第83-86页 |
| ·利用双重位相计算全息图在共路干涉仪中实现对非球面的绝对检测 | 第86-88页 |
| ·双衍射计算全息图共路干涉系统 | 第86-87页 |
| ·绝对检测过程 | 第87页 |
| ·双重位相计算全息图的误差 | 第87-88页 |
| ·双重位相计算全息图的分析、设计 | 第88-95页 |
| ·双重位相全息图衍射特性的分析 | 第89-92页 |
| ·适用于绝对检测的双重位相全息图的设计 | 第92-95页 |
| ·小节 | 第95-96页 |
| 第五章 总结与展望 | 第96-99页 |
| ·论文的具体研究成果 | 第96-97页 |
| ·具有创新意义的工作 | 第97页 |
| ·展望 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-105页 |
| 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |