Li和Mn掺杂ZnO压电薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·晶体的压电性质 | 第8-9页 |
| ·压电材料及其发展 | 第9-10页 |
| ·ZnO的晶体结构特性 | 第10-12页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第12-14页 |
| ·ZnO薄膜的制备与技术开发 | 第14-17页 |
| ·选题角度的确定和本论文的工作 | 第17-19页 |
| 2 溶胶-凝胶法 ZnO压电薄膜的制备及表征方法 | 第19-29页 |
| ·溶胶凝胶制备薄膜的原理和特点 | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶制备 ZnO薄膜的工艺 | 第19-20页 |
| ·衬底的制备和清洗 | 第20-21页 |
| ·薄膜的制备 | 第21页 |
| ·上电极的制备 | 第21-22页 |
| ·测试方法 | 第22-29页 |
| ·X射线衍射 | 第22-25页 |
| ·原子力显微镜 | 第25-26页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第26-27页 |
| ·电流-电压测试 | 第27-28页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第28-29页 |
| 3 未掺杂ZnO薄膜的制备及性能分析 | 第29-38页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·前烘温度的确定 | 第30-32页 |
| ·工艺参数对 ZnO薄膜晶体性能的影响 | 第32-37页 |
| ·ZnO薄膜的c轴取向分析 | 第32-34页 |
| ·表面形貌 | 第34-36页 |
| ·以SiO_2/Si为衬底 ZnO薄膜的c轴取向 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 Li~+掺杂 ZnO薄膜的制备及性能研究 | 第38-56页 |
| ·ZnO:Li薄膜的制备 | 第39页 |
| ·ZnO:Li薄膜的c轴取向分析 | 第39-43页 |
| ·掺杂浓度对 ZnO:Li薄膜c轴取向的影响 | 第39-40页 |
| ·退火温度对 ZnO:Li薄膜c轴取向的影响 | 第40-43页 |
| ·残余应力分析 | 第43-44页 |
| ·ZnO:Li薄膜的表面分析 | 第44-46页 |
| ·ZnO:Li薄膜XPS分析 | 第46-49页 |
| ·掺杂浓度对 ZnO:Li薄膜 XPS的影响 | 第46-49页 |
| ·退火温度对 ZnO:Li薄膜 XPS的影响 | 第49页 |
| ·ZnO:Li薄膜的电学特性分析 | 第49-53页 |
| ·掺杂浓度对 ZnO:Li薄膜电阻率的影响 | 第49-51页 |
| ·退火温度对 ZnO:Li薄膜电阻率的影响 | 第51-53页 |
| ·共掺 ZnO:Li薄膜的特性分析 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-56页 |
| 5 ZnO:Mn薄膜的制备及性能研究 | 第56-67页 |
| ·ZnO:Mn薄膜的制备 | 第56-57页 |
| ·ZnO:Mn薄膜的c轴取向分析 | 第57-60页 |
| ·掺杂浓度对 ZnO:Mn薄膜c轴取向的影响 | 第57-59页 |
| ·退火温度对 ZnO:Mn薄膜c轴取向的影响 | 第59-60页 |
| ·ZnO:Mn薄膜的表面分析 | 第60页 |
| ·ZnO:Mn薄膜XPS分析 | 第60-63页 |
| ·ZnO:Mn薄膜的电学特性分析 | 第63-66页 |
| ·掺杂浓度对 ZnO:Mn薄膜电阻率的影响 | 第63-65页 |
| ·退火温度对 ZnO:Mn薄膜电阻率的影响 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 6 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第76页 |
