宽量程微加速度传感器的研制
| 摘 要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·MEMS 产生背景和特点 | 第11-13页 |
| ·MEMS 研究内容 | 第13-17页 |
| ·MEMS 应用 | 第17-19页 |
| ·硅微加速度传感器现状及分析 | 第19-20页 |
| ·本论文主要研究工作 | 第20-22页 |
| 第二章 宽量程微加速度传感器理论基础 | 第22-35页 |
| ·微加速度传感器 | 第22-26页 |
| ·方案选择 | 第26页 |
| ·工作原理 | 第26-29页 |
| ·数学模型 | 第29-33页 |
| ·结构安全性分析 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 宽量程微加速度传感器数值分析 | 第35-55页 |
| ·受力分析 | 第35-41页 |
| ·振态分析 | 第41-47页 |
| ·有限元分析 | 第47-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第四章 宽量程微加速度传感器 MEMS 工艺 | 第55-73页 |
| ·晶面特性研究 | 第55页 |
| ·主要工艺及工艺条件 | 第55-70页 |
| ·版图设计 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71-73页 |
| 第五章 宽量程微加速度传感器制作 | 第73-82页 |
| ·工艺设计及制作流程 | 第73-77页 |
| ·主要问题与解决办法 | 第77-81页 |
| ·小结 | 第81-82页 |
| 第六章 测试电路分析与设计 | 第82-90页 |
| ·电容测试电路简介 | 第82页 |
| ·前置放大器 | 第82-83页 |
| ·相关双采样电路 | 第83-86页 |
| ·增量调制器 | 第86-87页 |
| ·电容—电压转换器 | 第87-89页 |
| ·小结 | 第89-90页 |
| 第七章 结论 | 第90-92页 |
| 附录 | 第92-102页 |
| 参考文献 | 第102-106页 |
| 硕士期间发表学术论文 | 第106-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
