| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·前言 | 第8-9页 |
| ·ZnO 材料的基本特性 | 第9-11页 |
| ·ZnO 薄膜的研究现状及进展 | 第11-15页 |
| ·ZnO 材料研究中存在的问题 | 第15-16页 |
| ·本论文的主要工作 | 第16-18页 |
| 参考文献 | 第18-21页 |
| 第二章 氧化锌薄膜制备技术及表征手段 | 第21-32页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第21-25页 |
| ·样品的分析和表征手段 | 第25-29页 |
| ·本文所用测试仪器 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-32页 |
| 第三章 未掺杂ZnO 薄膜的制备和性能研究 | 第32-54页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第33-35页 |
| ·前驱体的配制 | 第33-34页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-52页 |
| ·用X 射线衍射仪对ZnO 薄膜进行晶体结构 | 第35-38页 |
| ·(AFM)对ZnO 薄膜表面形貌的测量 | 第38-41页 |
| ·SEM 对ZnO 薄膜厚度的测量 | 第41页 |
| ·ZnO 薄膜的XPS 谱 | 第41-43页 |
| ·ZnO 薄膜的吸收光谱 | 第43-44页 |
| ·ZnO 薄膜在不同退火温度下的透射光谱 | 第44页 |
| ·光致发光谱分析 | 第44-50页 |
| ·变温光致发光谱 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第四章 Zn_(1-x)Mg_xO 合金膜的制备和性能研究 | 第54-64页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO 合金膜的制备 | 第55页 |
| ·前驱体的配制 | 第55页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO 薄膜的制备 | 第55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-62页 |
| ·ZnO_(1-x)Mg_xO 合金薄膜的XRD 分析 | 第55-57页 |
| ·ZnO_(1-x)Mg_xO 合金薄膜的吸收光谱 | 第57-59页 |
| ·ZnO_(1-x)Mg_xO 合金薄膜的透射光谱 | 第59页 |
| ·ZnO_(1-x)Mg_xO 合金薄膜的室温光致发光谱 | 第59-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第五章 工作总结 | 第64-66页 |
| 攻读硕士学位期间已发表和递交的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
