基于LabVIEW的DUP实时监控系统的研究与开发
| 1 绪论 | 第1-12页 |
| ·课题背景和来源 | 第8-10页 |
| ·课题研究的意义 | 第10-11页 |
| ·主要研究工作 | 第11-12页 |
| 2 磁控溅射监控系统方案设计 | 第12-24页 |
| ·计算机监控系统与设计原则 | 第12-15页 |
| ·计算机监控系统概述 | 第12-13页 |
| ·计算机监控系统的组成 | 第13-14页 |
| ·计算机监控系统的设计原则 | 第14-15页 |
| ·磁控溅射监控系统总体设计方案 | 第15-20页 |
| ·UDP工艺原理 | 第15-17页 |
| ·监控系统的工艺性能分析 | 第17-19页 |
| ·监控系统的工艺性能指标 | 第19页 |
| ·监控系统功能设计 | 第19-20页 |
| ·系统软件平台和开发工具 | 第20-22页 |
| ·WINDOWS操作系统 | 第21页 |
| ·编译软件 | 第21-22页 |
| ·系统软件结构 | 第22-24页 |
| 3 虚拟仪器的开发技术 | 第24-44页 |
| ·虚拟仪器的概念 | 第24-25页 |
| ·虚拟仪器的硬件平台 | 第25-26页 |
| ·虚拟仪器软件开发平台——LabVIEW | 第26-29页 |
| ·LabVIEW语言特征 | 第26-27页 |
| ·LabVIEW的开发环境 | 第27-28页 |
| ·基于LabVIEW的软件设计方法 | 第28-29页 |
| ·LabVIEW下系统多任务调度策略 | 第29-37页 |
| ·多线程技术 | 第29-30页 |
| ·LabVIEW的多任务并行运行机制 | 第30-33页 |
| ·监控系统多任务调度策略的具体实现 | 第33-37页 |
| ·数据采集技术 | 第37-44页 |
| ·循环缓冲技术 | 第39-41页 |
| ·高速磁盘流技术 | 第41-42页 |
| ·同步采样技术 | 第42页 |
| ·异步读取DAQ事件技术 | 第42-44页 |
| 4 LabVIEW环境下系统数据管理 | 第44-58页 |
| ·文件存储管理 | 第44-46页 |
| ·数据库基本原理 | 第46-48页 |
| ·数据库表单的建立 | 第48-51页 |
| ·工艺参数容限值表单 | 第49页 |
| ·工艺参数表单 | 第49-50页 |
| ·操作员信息表单 | 第50页 |
| ·报警信息表单 | 第50-51页 |
| ·构建LabVIEW访问数据库的接口 | 第51-58页 |
| ·相关概念的介绍 | 第51-53页 |
| ·LabVIEW访问数据库接口的方法 | 第53-54页 |
| ·LabVIEW环境下访问数据库接口的实现 | 第54-58页 |
| 5 系统软件的设计与实现 | 第58-76页 |
| ·系统软件的模块设计 | 第58页 |
| ·系统软件的工作流程 | 第58-61页 |
| ·系统软件的变量管理 | 第61-62页 |
| ·系统主要功能模块的设计与实现 | 第62-76页 |
| ·启动模块的设计 | 第62-63页 |
| ·真空控制模块的设计 | 第63-66页 |
| ·启动工艺模块的设计 | 第66页 |
| ·过程监视模块的设计 | 第66-67页 |
| ·参数设置模块的设计 | 第67-70页 |
| ·趋势显示模块的设计 | 第70-71页 |
| ·默认设置模块的设计 | 第71-72页 |
| ·故障报警模块的设计 | 第72-73页 |
| ·管理模块的设计 | 第73-76页 |
| 6 结论与展望 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录 | 第82页 |
