| 第一章 序言 | 第1-14页 |
| 1．1 金刚石的结构 | 第9页 |
| 1．2 CVD金刚石的性质 | 第9-10页 |
| 1．3 CVD金刚石的应用 | 第10-11页 |
| 1．4 本文的主要内容和结构 | 第11-14页 |
| 第二章 CVD金刚石的成膜机理和制备方法 | 第14-27页 |
| 2．1 引言 | 第14页 |
| 2．2 成膜机理 | 第14-20页 |
| 2．2 1 SP~3杂化轨道与金刚石结构 | 第14-15页 |
| 2．2．2 SP~2杂化轨道与石墨结构 | 第15-17页 |
| 2．2．3 金刚石薄膜的合成机理及其讨论 | 第17-20页 |
| 2．3 制备方法 | 第20-24页 |
| 2．3．1 热灯丝辅助CVD | 第21-22页 |
| 2．3．2 微波等离子体辅助CVD | 第22-23页 |
| 2．3．3 射频等离子体辅助CVD | 第23页 |
| 2．3．4 直流等离子体辅助CVD | 第23页 |
| 2．3．5 电子回旋加速谐振微波辅助CVD | 第23-24页 |
| 2．3．6 燃烧火焰辅助CVD | 第24页 |
| 2．4 小结 | 第24-27页 |
| 第三章 CVD金刚石薄膜的表征方法 | 第27-40页 |
| 3．1 拉曼光谱 | 第27-29页 |
| 3．2 X射线衍射光谱 | 第29-30页 |
| 3．3 扫描电子显微镜照片 | 第30-31页 |
| 3．4 表面粗糙度测量 | 第31-32页 |
| 3．5 微观力学测量 | 第32-34页 |
| 3．5．1 微压痕实验 | 第32-33页 |
| 3．5．2 微划痕实验 | 第33-34页 |
| 3．6 原位测量方法 | 第34-36页 |
| 3．6．1 概述 | 第34-35页 |
| 3．6．2 原位激光反射多光束干涉 | 第35-36页 |
| 3．7 讨论 | 第36-40页 |
| 第四章 CVD金刚石薄膜的实时生长研究 | 第40-48页 |
| 4．1 原位反射率的测量 | 第40-41页 |
| 4．2 金刚石薄膜生长表面的反射率数学物理模型 | 第41-43页 |
| 4．3 薄膜光学性质的确定 | 第43页 |
| 4．4 讨论 | 第43-48页 |
| 4．4．1 原位反射率和薄膜生长过程的关系 | 第43-44页 |
| 4．4．2 拟合数据的可靠性 | 第44-46页 |
| 4．4．2．1 关于表面粗糙度的假设 | 第44-45页 |
| 4．4．2．2 关于吸收系数的假定 | 第45-46页 |
| 4．4．2．3 关于拟合数据的可靠性实验验证 | 第46页 |
| 4．4．3 小结 | 第46-48页 |
| 第五章 新一代无依托超薄金刚石X光窗口的研制 | 第48-56页 |
| 5．1 引言 | 第48-50页 |
| 5．1．1 研究的意义 | 第48-49页 |
| 5．1．2 国内外研制状况 | 第49页 |
| 5．1．3 研制的重点和难点 | 第49-50页 |
| 5．2 金刚石 X光窗口的制备 | 第50-54页 |
| 5．2．1 高质量的致密光学镜面级金刚石薄膜的制备 | 第50-52页 |
| 5．2．2 无依托超薄金刚石 X光窗口的制备 | 第52页 |
| 5．2．3 金刚石 X光窗口的拟合光学参数 | 第52页 |
| 5．2．4 金刚石 X光窗口的透射率测量 | 第52-54页 |
| 5．3 小结 | 第54-56页 |
| 第六章 CVD纳米晶/微晶金刚石多层膜的研制 | 第56-71页 |
| 6．1 概述 | 第56-61页 |
| 6．1．1 纳米金刚石的优良性质 | 第56-57页 |
| 6．1．2 纳米金刚石的制备方法 | 第57-58页 |
| 6．1．3 纳米金刚石的表征方法研究 | 第58-61页 |
| 6．1．3．1 Raman光谱分析 | 第58-59页 |
| 6．1．3．2 XRD研究 | 第59页 |
| 6．1．3．3 SEM和AFM/α-step研究 | 第59-61页 |
| 6．1．3．4 光学透射性研究 | 第61页 |
| 6．1．4 纳米金刚石的应用 | 第61页 |
| 6．2 纳米晶/微晶金刚石多层膜的研制 | 第61-68页 |
| 6．2．1 纳米晶/微晶金刚石多层膜的研制背景 | 第61-62页 |
| 6．2．2 纳米晶/微晶金刚石多层膜的制备 | 第62-63页 |
| 6．2．3 纳米晶/微晶金刚石多层膜的表征 | 第63-68页 |
| 6．2．3．1 纳米晶/微晶金刚石多层膜的Raman光谱分析 | 第63-65页 |
| 6．2．3．2 纳米晶/微晶金刚石多层膜的XRD研究 | 第65-66页 |
| 6．2．3．3 纳米晶/微晶金刚石多层膜的SEM照片 | 第66-67页 |
| 6．2．3．4 纳米晶/微晶金刚石多层膜的光学透射性测量 | 第67-68页 |
| 6．3 小结 | 第68-71页 |
| 第七章 总结 | 第71-73页 |
| 全文参考文献一览 | 第73-82页 |
| 己发表(包括已接受)的学术论文、会议报告和专利申请 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 论文独创性声明 | 第84页 |
| 论文使用授权声明 | 第84页 |
