| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-13页 |
| ·MEMS 概论 | 第10-11页 |
| ·硅麦克风的特点 | 第11-12页 |
| ·本论文的工作重点 | 第12-13页 |
| 第2章 新型硅麦克风的建模 | 第13-22页 |
| ·MEMS CAD 的介绍 | 第13-14页 |
| ·声学模型原理 | 第14-16页 |
| ·声阻 | 第14页 |
| ·声容 | 第14-15页 |
| ·声质量 | 第15-16页 |
| ·新型硅麦克风的建模 | 第16-19页 |
| ·模型分析 | 第16-17页 |
| ·类比电路 | 第17页 |
| ·声学部分 | 第17-18页 |
| ·力学部分 | 第18-19页 |
| ·电学部分 | 第19-20页 |
| ·小结 | 第20-22页 |
| 第3章 新型硅麦克风的设计 | 第22-35页 |
| ·硅麦克风的动力学分析 | 第22-28页 |
| ·电容式硅麦克风的影响因素 | 第22-23页 |
| ·压膜空气阻尼 | 第23-24页 |
| ·雷诺公式 | 第24-27页 |
| ·圆形平板振膜的压膜阻尼 | 第27-28页 |
| ·圆形振膜的振动分析 | 第28-31页 |
| ·平板圆形振膜的振动分析 | 第28-29页 |
| ·褶皱圆形振膜的振动分析 | 第29-31页 |
| ·新型硅麦克风的设计 | 第31-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 第4章 基于有限元软件ANSYS 的新型硅麦克风分析 | 第35-51页 |
| ·ANSYS 软件的介绍 | 第35页 |
| ·ANSYS 的文件 | 第35-36页 |
| ·ANSYS 的分析步骤 | 第36-38页 |
| ·建立有限元模型 | 第36-38页 |
| ·圆形振膜的ANSYS 分析 | 第38-46页 |
| ·线性静力分析 | 第38-42页 |
| ·动力学分析 | 第42-46页 |
| ·褶皱圆形振膜的ANSYS 仿真 | 第46-50页 |
| ·褶皱模型的建立 | 第47页 |
| ·定义单元类型，划分网格 | 第47-48页 |
| ·求解和后处理 | 第48页 |
| ·后处理 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第5章 新型硅麦克风的加工工艺 | 第51-58页 |
| ·微电子机械系统工艺 | 第51页 |
| ·新型硅麦克风的制作 | 第51-55页 |
| ·振膜的制作 | 第52-53页 |
| ·背极板的制作 | 第53-55页 |
| ·牺牲层的制作 | 第55页 |
| ·电极的制作 | 第55页 |
| ·制作流程图 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第6章 新型硅麦克风测试平台的搭建 | 第58-61页 |
| 结束语 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录1 | 第67-68页 |
| 详细摘要 | 第68-70页 |